Korostettu
Johdanto: Magnetronhajoamispinnoituslaitteisto on kustannustehokas, meidän yrityksemme itsenäisesti kehittämä magnetronhajoamispinnoituslaitteisto, jolla on standardointi-, modulaarisuus- ja mukauttamismahdollisuudet. Magnetronkohteet ovat saatavilla koolle 1 tuuma, 2 tuumaa ja 3 tuumaa, ja asiakkaat voivat valita kohteen koon perusteella pinnoitettavan substraatin koon mukaan; virtalähde on 500 W:n tehokas tasavirtalähde, jota voidaan käyttää korkean energian metallihajoamispinnoituksiin. Kokeellisten vaatimusten mukaan voidaan valita myös muita tasavirta- tai vaihtovirtalähteitä (DC- tai RF-virtalähteitä), jotta voidaan toteuttaa eri materiaalien pinnoitus.
Sovellus: Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seoskalvojen, puolijohdekalvojen, keramiikkakalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistukseen.