





|
PLASMA lähde
|
RF
|
||
|
Teho
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(vaihtoehto)
|
||
|
Soveltamisala
|
4~8 tuuma
|
||
|
Yksittäinen käsittelylevyjen määrä
|
1
|
||
|
Ulkomitat
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Järjestelmän hallinta
|
PLC:n
|
||
|
Automaatiotaso
|
Käyttöohje
|
||








Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään