
| Malli  | MDTS-WT2200  | 
| Määrä ohutusakseleita  |  2 | 
| Työpenkkien lukumäärä  | 3, Indeksointimenetelmä  | 
| Jauhatuspyörän pyörivaakuna  | Ilmapyörrien määrä: 2  Pyörremoottori: 7,5kW muuttajamoottori Nopeus: 0~6000vpm, vaihtamaton säätö Hienosäädön pyörän spesifikaatio: Φ203mm Hienosäädön pyörän tyyppi: timanttihienosäädön pyörä | 
| Hienosäädön pyörän tuontijärjestelmä  | Määrä: 2 kappaletta  Syöttöjärjestelmän hallintamenetelmä: LM-ohjausrata ja palloskruppi yhdistelmä Ajaminen moottori: servomoottori Pienin syöttönopeus: 0.1um/sec Suurin syöttönopeus: 50mm/sec | 
| Työpöytä  | Määrä: 3, indeksointitila  Pyörremoottori: Servomoottori Nopeus: 0~300v/min, vakiomattomasti säätökelpoinen Hymyke menetelmä: Vakuumihymyke | 
| Työpöytä pyörretyöpöytä  | Ajaminen tila: servomoottori  Kiertosäiliö: 0~240° Sijaintitunnus: aistintekijäinen sijainti | 
| Automaattinen paksuus  mittausjärjestelmä | Mittausmenetelmä: IPG yhteystapa online real-aikainen mittaus  Mittauspääteiden määrä: 2 Mittaussensori: 0,1 µm taso sensori | 
| Automaattinen lataus\/  latausjärjestelmä | Laukku tyyppi: 6-8 tuumaa Cassette, 25 kerrosta  Automaattinen lataus\/latausmenetelmä: wafer-manipulaattori varmistaa, että ohuet waferit kuljetetaan vahingoton Waferin paksuus: 150um-1000um | 
| Työpöydän puhdistusfunktio  | Puhdistusmenetelmä: Öljikiveen höyryttäminen & DI-vesi + ilma kahden aineen hirttely  | 
| Automaattinen puhdistus/  kuivustusjärjestelmä | Puhdistus: DIV-suuttimen puhdistus  Kuivatusmenetelmä: Puuttaminen + kuivatus Nopeus: maksimi 1000rpm värinöidettävästi säätämiskelpoinen | 
| Staattisen sähköisyyden poistojärjestelmä  | Ioni-palkki orion tuuletin  | 
| Spindelin jäähdytin  | Lämpötila: 18-22°C  Virtausnopeus: 4~8L/min | 
| Ohjausjärjestelmä    | Hallintajärjestelmä: PC-hallintajärjestelmä, kosketusnäyttö, 3-värinen varoitusvalo  Kiina/Englanti ihmekone-liittymä | 
| Suurin keskipohjan koko  | Suurin yhteensopivuus 8 tuumaa kanssa  | 
| Nopeusalue    | 0~6000 RPM  | 
| Z-akselin kulku    | 160mm    | 
| Z-akselin syöttönopeus  | 0.1~100um/sec  | 
| Z-akselin nopea takaisinvetonopeus  | 50mm/sec  | 
| Z-akselin resoluutio  | 0.1um  | 
| Verkon kautta tehtävä paksuusmittojen alue  | 0~1800um  | 
| Online-todistusmittausratkaisu  | 0.1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään