Korostettu
Johdanto: Tämä laite on kaksitavoitteinen magneettirunoutuslaitteisto. Se on varustettu kahdella magneettirunoutustavoitteella ja kahdella DC-virtalähteellä. Sitä voidaan käyttää monikerroksisten johtavien metallikalvojen pinnoittamiseen. Samalla laite koostuu kahdesta osasta: pääkammioista ja siirtokammioista. Siirtokammio on varustettu magneettisella työntötankolla, ja kahden kammion välillä on asennettu tyhjiöporttiventtiili. Käyttäjä voi ladata näytteet siirtokammioon ja suorittaa esityhjiöinnin samanaikaisesti, kun pääkammiossa suoritetaan runoutusta. Kun pääkammion runoutus on valmis, näyte voidaan työntää magneettisen työntötangon avulla pääkammion näytetasolle. Tämä rakenne vähentää pääkammion tyhjiöinti- ja ilmanpäästökertojen määrää, mikä säästää tehokkaasti aikaa ja varmistaa paremman paikallisesti saavutetun tyhjiön, mikä puolestaan parantaa tehokkaasti pinnoituksen laatua.
Sovellus: Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seoskalvojen, puolijohdekalvojen, keramiikkakalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistukseen.