Johdanto:
Tämä laite on kaksitavoitteinen magneettirunoutuslaitteisto. Se on varustettu kahdella magneettirunoutustavoitteella ja kahdella joukolla tasavirtalähteitä. Sitä voidaan käyttää monikerroksisten johtavien metallikalvojen pinnoittamiseen. Samalla laite koostuu kahdesta osasta: pääkammioista ja siirtokammioista. Siirtokammio on varustettu magneettisella työntötankilla, ja kahden kammion välillä on asennettu tyhjiöporttiventtiili. Käyttäjä voi ladata näytteet siirtokammioon ja tehdä esityhjennystä samanaikaisesti, kun pääkammiossa suoritetaan runoutusta. Kun pääkammion runoutus on valmis, näyte voidaan työntää magneettisen työntötangon avulla pääkammion näytetasolle. Tämä rakenne vähentää pääkammion tyhjennysten ja ilmanpäästöjen määrää, mikä säästää tehokkaasti aikaa ja varmistaa paremman paikallisesti saavutetun tyhjiön sekä parantaa pinnoituksen laatua.
Käyttösovellus:
Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seokskalvojen, puolijohdekalojen, keraamisten kalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistamiseen.