Korostettu
Johdanto:
Kaksitavoitteinen magneettirunoutuspinnoittaja on laboratoriospesifiinen pinnoittuslaitteisto, jonka olemme kehittäneet. Laitteistoon voidaan asentaa jatkuvavirtalähde ja radioaaltojen (RF) virtalähde, joiden teho vaihtelee 500 W:sta 1000 W:iin. Vertailussa tavalliseen plasmarunoutukseen magneettirunoutus tarjoaa etuja korkean energian ja nopeuden, korkean pinnoitustehon sekä alhaisen näytteen lämpötilan nousun suhteen. Se on tyypillinen korkeanopeuksinen ja alhaisen lämpötilan runoutusmenetelmä. Magneettirunoutuskohde on varustettu vesijäähdytetyn välikerran kanssa. Vesijäähdytin poistaa tehokkaasti lämmön ja estää lämmön kertymisen kohdepinnalle, mikä mahdollistaa magneettirunoutuksen vakaa pitkäaikainen käyttö. Laitteisto on suunniteltu tiukasti saavuttamaan tasapainon tilavuuden ja suorituskyvyn välillä, ja sillä on kaunis ulkonäkö sekä laajat toiminnallisuudet. Koko laitteisto ohjataan kosketusnäytöllä, johon on sisäänrakennettu yksipainikkeinen pinnoitusohjelma, mikä tekee siitä helppokäyttöisen. Se on ideaalinen laitteisto ohutkalvojen valmistukseen laboratoriossa.
Sovellus: Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seoskalvojen, puolijohdekalvojen, keramiikkakalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistukseen.