Johdanto:
Tämä laite koostuu pääasiassa ruostumattomasta teräksestä valmistetusta tyhjiökammiosta, magneetrion sputterointikohdasta, höyrystyspinnoituspisteen laitteesta, näytteiden sijoittamiseen tarkoitetusta näytönpöydästä, tyhjiöpumpun yksiköstä, tyhjiön mittausmittarista, ilmanottojärjestelmästä ja ohjausjärjestelmästä. Laitteen pääyksikkö toimii kosketusnäytöllä ja sen lämpötilaa mitataan lämpötilasäätimellä. Sen digitaalinen parametriyhteys ja automatisoitu toiminta tarjoavat käyttäjille erinomaisen tutkimus- ja kehitysalustan. Tyhjiökammio on suunniteltu niin, että kohde sijaitsee sen alaosassa, ja näytönpöytä on varustettu lämmitys- ja pyörintätoiminnolla, mikä mahdollistaa tasaisemman pinnoitustuloksen. Laitteen tyhjiön saavuttamiseen käytetty järjestelmä koostuu kahdesta vaiheesta: etupumpu on korkean nopeuden mekaaninen pumpu, joka lyhentää tehokkaasti aikaa normaalipaineesta alatyhjiöön. Pääpumpu on turbo-molekulaaripumpu, jolla on korkea imunopeus ja nopeampi tyhjiön saavuttamisnopeus. Kokonaisuudessaan tyhjiön saavuttamiseen käytetty järjestelmä on puhtaana ja nopeana.
Käyttösovellus:
Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seokskalvojen, puolijohdekalojen, keraamisten kalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistamiseen.