Johdanto: Tämä laite koostuu pääasiassa ruostumattomasta teräksestä valmistetusta tyhjiökammiosta, magneettirunoutuskohteesta, höyrystyspinnoituspistoolista, näytteiden sijoittamiseen tarkoitetusta näytetabletista, tyhjiöpumpun yksiköstä, tyhjiön mittausmittarista, ilmanottojärjestelmästä ja ohjausjärjestelmästä. Laitteen pääyksikkö toimii kosketusnäytöllä ja sen lämpötilaa mitataan lämpötilan säätömittarilla. Sen digitaalinen parametriyhteys ja automatisoitu toiminta tarjoavat käyttäjille erinomaisen tutkimus- ja kehitysalustan. Tyhjiökammio on suunniteltu niin, että kohde sijaitsee kammion pohjassa, ja näytetabletti on varustettu lämmitys- ja pyörintätoiminnolla, mikä mahdollistaa tasaisemman pinnoituksen. Laitteen tyhjiön saavuttamiseen käytetty järjestelmä koostuu kahdesta vaiheesta: etupumpu on korkean nopeuden mekaaninen pumpu, joka lyhentää tehokkaasti aikaa normaalipaineesta alatyhjiöön. Pääpumpu on turbo-molekulaaripumpu, jolla on korkea pumpausnopeus ja nopeampi tyhjiön saavuttamisnopeus. Kokonaisuudessaan tyhjiön saavuttamiseen käytetty järjestelmä on puhtaana ja nopeana.
Sovellus: Sitä voidaan käyttää yksi- tai monikerroksisten ferroelektristen ohutkalvojen, johtavien kalvojen, seoskalvojen, puolijohdekalvojen, keramiikkakalvojen, eristekalvojen, optisten kalvojen jne. valmistukseen.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA











