Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Hanki tarjous

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Etusivu
Meistä
MH-Laitteisto
Ratkaisu
Ulkomaille Käyttäjät
Video
Ota yhteyttä
Etusivu> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone
  • MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone
  • MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone
  • MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone

MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone

Malli: MDICP-5000F

Hanki ilmainen tarjous
MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Johtopäätelmä:

Laite on kahden huoneen ilmakehölaitesysteemi. Yksi huone on otantahuone ja toinen on kehityshuone. Ilmakehölukko on asennettu otantahuoneen ja kehityshuoneen välille, ja otannan kuljetus tapahtuu manipulaattorilla.
Laite koostuu pääasiassa vakuumijärjestelmästä, kaasukuljetusjärjestelmästä, sähköjärjestelmästä, ohjausjärjestelmästä, jäähdytysjärjestelmästä, kalvotuonti- ja -poistomekanismista, hälytysjärjestelmästä jne.

Tyhjännyssysteemi:

Järjestelmä koostuu molekyyripumasta, jonka vetonopeus on 600 L/s + tuonnemmainen vakuumikuivauspumpu, jonka vetonopeus on L/s, joilla vedetään korrosiohuone korkeaan vakuumiin. Molekyyripuman ja korrosiohuoneen välillä on asennettu sähköinen painepäätöksilippu. Tuonnemmainen kuivauspumpu on korrosiohuoneen esipumpu ja molekyyripuman edellisena pumpuna. Toiseen mekaaniseen pumpuun, jonka vetonopeus on L/s, käytetään ottaakseen näytehuone vakuumiin. Jäähdyttämättömät rautaliekkojen käytetään mekaanisen pumpun ja vakuumihuoneen sekä molekyyripuman yhteydessä, ja niissä on asennettu elektromagneettinen ilmapuhallusohjausalus.

Vakioinnostusohjausjärjestelmä

Laite on varustettu alla olevalla vakion paineohjauksella, ja sähköinen säätöventtiili on asennettu ilmanpoistojohtimessa. Kuvio mittarilla (tuotantomaan osat) säädetylle venttiilille varmistetaan, että tyhjiöhuone saavuttaa vakion paineen, mikä parantaa prosessin vakautta.

Vakioinnostusohjausjärjestelmä

Laite on varustettu alla olevalla vakion paineohjauksella, ja sähköinen säätöventtiili on asennettu ilmanpoistojohtimessa. Kuvio mittarilla (tuotantomaan osat) säädetylle venttiilille varmistetaan, että tyhjiöhuone saavuttaa vakion paineen, mikä parantaa prosessin vakautta.

Kaasun sähköjärjestelmä

Kaksi joukkoon kuuluvaa RF-turvallisuuslaitetta automaattisesti sovitettuna.

Hälytysjärjestelmä

Turvallisuusvaatimukset laitteelle.
Määritys
Nimi
Spc
Merkki
Nro/Set
Huomautus
Ulvotteluksi, ilmanpoistojohditteet, havaintoikkuna, varausliittymät jne.
Standardi
JSWN
1
Antikorrosiivinen
Runko, sähkökaapeli, takiot, standardiosat jne.
Standardi
JSWN
1
Kuvauksen kammerin peittimen nostosysteemi
Standardi
JSWN
1
Antikorrosiivinen
Kuvauksen sähköde ja jäähdytysjärjestelmä
Standardi
JSWN
1
Antikorrosiivinen
Molekyyripumppu (pumpaussyvyys 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Antikorrosiivinen
Syöttökuivauspumppu (pumpaussyvyys 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Antikorrosiivinen
Mekaaninen pumpu (pumpaussyvyys 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Sähköinen säätöportti
DCQ-150
JSWN
1
Antikorrosiivinen
Pneumaattinen kimpusvene
KF40
JSWN
3
Antikorrosiivinen
Levyn mittari
KF16
INFICON
1
Antikorrosiivinen
Massavirtaohjain
D07
Sevenstar
4
Antikorrosiivinen
Pneumaattinen diagrampilve
1/4" VCR
-
4
Antikorrosiivinen
Rautainen putki, putkisolitus jne
1/4" VCR
-
4
Antikorrosiivinen
RF-voimatoimitus / automaattinen vastustussoitin
-
Kiina (Valinnainen CROWN1310)
1
RF-voimatoimitus / automaattinen vastustussoitin
-
Kiina (Valinnainen CROWN1310)
1
Yhdistetty tyhjänmittari
ZDF
RB
1
IPC
2U
Kiina
1
LCD-täytön näyttö
17 tuumaa
Kiina
1
PLC-ohjausjärjestelmä
S7-200
Siemens
1
Sähköinen ajojärjestelmä
Standardi
JSWN
1
Jäähdytysveden havaitseminen ja putkistusjärjestelmä
Standardi
JSWN
1
Purkautuvan ilman havaitseminen ja putkistusjärjestelmä
Standardi
JSWN
1
Jäähdytyskiertovesi-kone
HX
Kiina
1
Etsoinnin injektiohuone
Standardi
JSWN
1
Vakuumilukko
SMC
SMC
1
Manipulaattorin ohjausjärjestelmä
SMC
SMC
1

Sähköposti tekninen parametri

1. Raja-arvo vakuumille: Etsoinhuone 9.0×10-5Pa (Huoneen kosteus≤55%)
Injektion otantahuone 6.0×10-1Pa
2. Etsoaika aine: Ⅲ, Ⅴ-materiaali, Si, SiO2 jne
3. Kuivoluontokuvauksen nopeus: ~ 1μ/min
4. Kuivoluontokuvauksen tasaisuus: ≤±5％(φ125mm alueella)
6. Elektroden koko: φ200mm

UKK

1. Hintaan liittyen:

Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

 

2. Näyteistä:

Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

 

3. Tietoja maksusta:

Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa meidälle varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastointivalmistelut. Kun laite on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, lähetämme sen.

 

4. Toimituksesta:

Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

 

5. Asennus ja Viritys:

Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

 

6. Tietoja Takuuosta:

Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

 

7. Asiakaspalvelu:

Kaikilla koneilla on yli vuoden takuu. Tekniset insinöörimme ovat aina saatavilla tarjoamaan sinulle laitteen asennus-, säätö- ja huoltopalveluita. Voimme tarjota paikan päällä tapahtuvan asennus- ja säätöpalvelun erikois- ja suurille laitteille.

Lisää tuotteita

Pyynnön lähettäminen

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään

Tietosuojakäytäntö

Pyynnön lähettäminen Email WhatsApp WeChat
Ylälaita
×

Ota yhteyttä