rakenne |
havainnollistaa |
Esittelypöytä |
Esittelyalue: pöytä, substratti sijoitusalue |
Optinen järjestelmä |
Laserin säteilymuotoalue |
Ympäristön hallintajärjestelmä |
Hallitsee laitteen sisäistä lämpötilaa ja positiivista painetta |
Alustajärjestelmä |
Ohjaa altistustaulun liikettä suorittaakseen altistuspolun toiminnan |
Ohjausjärjestelmä |
Koko laitteen ohjausjärjestelmä |
- Ei, ei, ei. - Mitä? |
Ympäristö |
Vaatia |
1 |
Valonlähdeympäristö |
Keltainen valo |
2 |
Lämpötila |
22℃±2℃ |
3 |
Kosteus |
50%±10% |
4 |
Siivetys |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, kuiva ja puhtaata iltaa |
6 |
Virtalähde |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Maaperän johto on maadettava. |
7 |
Jäähdytysvesi |
Lämpötila: 10℃~ 20℃ Paine: 0.3MPa ~ 0.5MPa Virtausnopeus: 20L/min Paineen ero: 0.3MPa yläpuolella Yhdisteen halkaisija: Rc3/8 |
8 |
Tapahtumapaikka |
taso: ±3mm/3000mm värinä: VC-B Kantaja: 750kg/㎡ |
10 |
Internetin käyttö |
Yksi verkkoliittymä |
11 |
Koneen koko |
1300*1100*2100mm |
12 |
Laitepaino |
1500 kg |
- Ei, ei, ei. - Mitä? |
Projekti |
- Tarkemmin. |
Huomautus |
1 |
Resoluutio |
0.6um/tai muu vaatimus |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substraatti paksuus |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Päivämääräruudun tarkkuus |
60nm |
|
5 |
Overlay |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Yhdistelmätarkkuus |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Suurin kuvauskohta |
190X190mm |
|
8 |
Käsittelynopeus |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
valonlähde |
LD 375nm |
|
10 |
valoteho |
6W |
|
11 |
Energiasaannollisuus |
≥95% |
|
12 |
valon elinikä |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
