Induktiivisesti kytketty plasmaetsointijärjestelmä (ICP) , China Induktiivisesti kytketty plasmaetsointijärjestelmä (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Induktivo kiinnitys plasma etching (icp) järjestelmä

Induktiivisesti kytketty reaktio-ioniporakseteknologia on eräs RIE-tekniikan muoto. Tämä teknologia saavuttaa plasmapiinistiön ionitiheyden ja ionien energian erottamisen riippumattomalla ionivirran säädöllä, parantaen näin porausprosessin säädön tarkkuutta ja joustavuutta.

Korkeatiheyksinen induktiivisesti kytketty reaktiivinen ionisyövytys (ICP-RIE) -sarja tuotteita perustuu induktiivisesti kytketyn plasman tekniikkaan ja se tähtää hienosyövytykseen ja yhdistelmäpuolijohdesyövytyksen tarpeisiin. Sillä on erinomainen prosessivakauteus ja toistettavuus, ja sitä voidaan käyttää sovelluksissa, jotka liittyvät piipuolijohteisiin, optoelektroniikkaan, tietoliikenteeseen, tehokomponentteihin ja mikroaaltolaitekomponentteihin.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Soveltuvat materiaalit:

1. Piipohjaiset materiaalit: pii (Si), piidioksidi (SiO2), piinitridi (SiNx), piikarbidia (SiC)...

2. III-V-materiaalit: indiumfosfidi (InP), galliumarsenidi (GaAs), galliumnitridi (GaN)...

3. II-VI-materiaalit: kadmiumtelluridi (CdTe)...

4. Magneettiset materiaalit/sideaineistot

5. Metallimateriaalit: alumiini (Al), kulta (Au), volfram (W), titaani (Ti), tantaali (Ta)...

6. Orgaaniset materiaalit: valokuvausmateriaali (PR), orgaaninen polymeeri (PMMA/HDMS), orgaaninen ohutkalvo...

7. Ferrosähköiset/valosähköiset materiaalit: litiumniobaatti (LiNbO3)...

8. Dielektriset materiaalit: safiiri (Al2O3), kvartsi...

Siihen liittyvät sovellukset:

1. Hilajälkien syövyttäminen: käytetään 3D-näytöissä, mikro-optisissa laitteissa, optoelektroniikassa jne.;

2. Yhdiste-etenin syövyttäminen: käytetään LED-valoissa, lasereissa, optisessa viestinnässä jne.;

3. Matriisilla valmistettu safiirialusta (PSS);

4. Litiumniobaatin (LiNO3) syövyttäminen: detektorit, optoelektroniikka;

Prosessitulos

Kivihiili / silika / raami etching

Käyttämällä BR peitea maskia etched kivihiili- tai silika-aineista, raami taulukkojärjestelmä kuvaus on ohut viiva ylös 300nm ja kuvaus sivuseinaan kaltevuus on lähellä > 89° , mikä voidaan soveltaa 3D-näyttöihin, mikrooptisiin laitteisiin, optoelektroniikkakommunikaatioon jne

Yhdiste / semiconductor etching

Näytteen pinta-temperatuurin tarkka ohjaus mahdollistaa hyvän hallinnan GaN-perustaisen, GaAs, InP ja metallimateriaalien etkistymismuodon. Se sopii sinisille LED-laitteille, laserille, optiseen viestintään ja muihin sovelluksiin.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Kivipohjaisen materiaalin kuoppaus

se sopii harpaleiden perustaisien materiaalien, kuten Si, SiO2 ja SiNx, etkistykselle. Se voi toteuttaa harpalen viivan etkistyksen yli 50nm ja harpalen syvän aukon etkistyksen alle 100um.

Määritys

Hankkeen konfiguraatio ja koneen rakennuskaavio

Tuote	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Tuotteen koko	≤6 tuumaa	≤8 tuumaa	≤6 tuumaa	≤8 tuumaa	Mukautettu ≥12tuumaa
SRF Energianlähde	0~1000W/2000W/3000W/5000W Säätökykyinen, automaattinen sovitteleminen\, 13.56MHz/27MHz
BRF Energianlähde	0~300W/0~500W/0~1000W Säätökykyinen, automaattinen sovitteleminen, 2MHz/13.56MHz
Molekyylikumpi	Ei korrosiivinen: 600/1300 (L/s)/Mukautettu			Korrosioon vastustava: 600/1300 (L/s)/Mukautettu		600/1300(L/s)/Mukautettu
Foreline-pumpu	Mekaaninen pommi / kuiva pommi			Anti-korrosio kuiva pommi		Mekaaninen pommi / kuiva pommi
Esipomituspommi	Mekaaninen pommi / kuiva pommi			Mekaaninen pommi / kuiva pommi
Prosessipaine	Hallittu paine 0-0.1/1/10 Torr / hallittu paine
Kaasutyypi	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Mukautettu (Tähän saakka 12 kanavaa, ei korrosiivista eikä myrkyllistä kaasua)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Mukautettu (tähän saakka 12 kanavaa)
Kaasulaitteiden vaihtelualue	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Mukautettu
Latauslukko	Kyllä/Ei			Kyllä
Näyte lämpötilaohjaus	10°C~Huoneilmaperät/l -30°C~150°C /Mukautettu			-30°C~200°C/Mukautettu
Taustahelium jäähdytys	Kyllä/Ei			Kyllä
Prosessihoitokorin kattaus	Kyllä/Ei			Kyllä
Hoitokorin seinän lämpötilaohjaus	Ei/Huoneilmaperät-60/120°C			Huoneilmaperät~60/120°C
Ohjausjärjestelmä	Auto/muokattu
Etusmateriaali	Kuparipohjainen: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Orgaaniset materiaalit: PR/Orgaaninen peli......			Kuparipohjainen: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magneettinen materiaali \/ hopeamateriaali Metallimateriaalit: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Orgaaniset materiaalit: PR\/Orgaaninen elokuva...... Siliikki syväetsintä

Pakkaus ja toimitus

UKK

1. Hintaan liittyen:

Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:

Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja maksusta:

Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa meidälle varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastointivalmistelut. Kun laite on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, lähetämme sen.

4. Toimituksesta:

Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:

Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:

Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

7. Asiakaspalvelu:

Kaikilla koneilla on yli vuoden takuu. Tekniset insinöörimme ovat aina saatavilla tarjoamaan sinulle laitteen asennus-, säätö- ja huoltopalveluita. Voimme tarjota paikan päällä tapahtuvan asennus- ja säätöpalvelun erikois- ja suurille laitteille.