Malli: MDST-6100
ICP-kuivaplasma-ashauslaitteisto soveltuu käytettäväksi esimerkiksi descum-toimintoihin (esikäsittely ja jäämien poisto), polymeerien poistoon (PI, BCB, PBO) sekä ionitörmäyksen jälkeiseen valokuvaresistin poistoon; kammio mahdollistaa 8-tuumaiset näytteet (yhteensopiva myös 4- ja 6-tuumaisille näytteille).
ICP:n kuiva plasma-fotorezistin poistaja
ICP-kuivaplasma-ashauslaitteisto soveltuu käytettäväksi esimerkiksi descum-toimintoihin (esikäsittely ja jäämien poisto), polymeerien poistoon (PI, BCB, PBO) sekä ionitörmäyksen jälkeiseen valokuvaresistin poistoon; kammio mahdollistaa 8-tuumaiset näytteet (yhteensopiva myös 4- ja 6-tuumaisille näytteille).
Laitteiston ulkonäköä voidaan päivittää ja muuttaa jatkuvasti; toimitettu tuote määrittää lopullisen ulkonäön.
Etu:
Korkea plasma-ionisaation ja hajottamisen asteikko
Plasma-käsittelyn jälkeen toistettavuus on korkea
Kuivakärsintä, ei saastuttavaa lähdettä
Paineen ja lämpötilan säätö perunamuotuisilla venttiileillä
Kykenee säilyttämään plasman korkeassa paineessa
Korkeajännite-lähteen ja ionigeneraattorin erottaminen toisistaan
Mikroaaltoliitoksen ja magneettipiirin yhteensopivuus
Kykenee täyttämään asiakkaan vaatimukset
Alhainen lämpötila käsittelyn aikana
Nopea reaktio nopeus ja lyhyt reaktioaika
Malli |
MDST6100 |
PLASMA lähde |
radiorajuota |
teho |
1000W |
SOVELTAMISALA |
8 tuumaa (yhteensopiva 4 tai 6 tuuman kanssa) |
Laatikkokoko |
25 kappaletta |
Kokonaisulottuvuudet |
L1696xL2170xK2146 mm |
Järjestelmän hallinta |
PLC:n |
Materiaalilaatikkojärjestelmä |
Automaattinen |
Laitteiston todellisia kuvia:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
