Mask Aligner -laitteen resoluutio on aukko, joka määrittää pienimmän viivan tai kuvion koon, jonka pystyt havaitsemaan. Mitä korkeampi resoluutio, sitä hienompia ja selkeämpiä kuvioita voidaan tuottaa. Kuinka hyvä (tai huono) on resoluutio Maski-asetin laboratoriossa, ja mitä asiakkaat voivat odottaa tulevista malleista, jos ne etenevät perusasioiden yli?

Mikä on suurin mahdollinen resoluutio laboratorion mask alignerissa korkean resoluution sovelluksissa?

Monet asiat vaikuttavat myös siihen, minkä maksimiresoluution mask aligner -laitteella laboratoriossa voidaan saavuttaa, kuten käytetty valonlaji, optiikan laatu ja kuinka hyvin se on asennettu. Laboratorioissa Laboratorion käyttöön tarkoitettu Mask Aligner -laite voidaan saavuttaa resoluutio muutamaan mikrometriin asti (joskus jopa 1 mikroniin tai vielä pienempään).

Toinen ongelma on itse maski – jos sitä ei ole valmistettu korkealla tarkkuudella, lopullinen "kuvio" ei ole terävä. Lisäksi kohdistus täytyy olla tarkka, jotta kuvion hämärtyminen/vääntyminen voidaan estää. Minder-Hightech maskin lumoitus koneet on varustettu huipputasoisilla kohdistusjärjestelmillä, jotka minimoivat altistusvirheet.

Mikä resoluutio Mask Aligner -laitteella voidaan saavuttaa laboratoriossa?

Massaostajien, jotka käyttävät maskikohdistimia, tulisi tietää, millaisen resoluution he saavat ostamistaan edistyneistä maskikohdistimista vaatimustensa mukaan. On aina parasta tarkastella koneen teknisiä tietoja huolellisesti ennen ostopäätöstä Minder-Hightechissä. Useimmat nykyaikaiset maskikohdistimet tarjoavat yleisiä sovelluksia 1–5 mikrometrin välillä. Jotkin mallit pystyvät kuitenkin vielä tarkempiin tuloksiin, alle yhden mikrometrin erikoiskäyttöön.

Mikä on maskikohdistimien todelliset resoluusion rajat laboratorio-olosuhteissa?

Laboratorion maskialignerien resoluutiorajoitteet määräytyvät useista kriittisistä tekijöistä. Näiden säätömahdollisuuksien tunteminen mahdollistaa käyttäjille laitteidensa optimaalisen hyödyntämisen. Valmistamme maskialignereita siten, että ne ovat suhteellisen kimmoisia tällaisten vaikutusten edessä, mutta on hyvä tietää, mitkä tekijät vaikuttavat resoluutioon.

Mitä yleisiä ongelmia liittyy maskialignerien käyttöön massatuotannossa?

Yleisiä resoluutio-ongelmia voi esiintyä sarjatuotannossa, jos maskialignerit ovat Minder-Hightech-tyyppisiä. Sarjatuotanto tarkoittaa saman kuvion monistamista nopeasti ja tarkasti. Vaikka Minder-Hightechin maskialignerit on säätöön tarkoitetusti tarkoituksenmukaisesti hienosäädettyjä, tietyt komplikaatiot voivat vaikeuttaa paras mahdollisen resoluution ylläpitoa.