
طول موج مرکزی منبع نور ماوراء بنفش |
405 نانومتر |
یکنواختی نوردهی |
بیش از 90% |
عرض خط ویژگی حداقل |
0.5um |
مساحت ناحیه نوردهی در هر بار نوشتن |
0.16*0.16mm (@0.5um) |
سرعت نوشتن |
80 میلیمتر مربع بر دقیقه (عرض خط ویژگی 1 میکرومتر) |
فرمتهای تصویر پشتیبانی شده |
DXF، GDS، bmp، png و غیره |
پیکربندی |
نسخه پایه |
نسخه حرفهای |
|
منبع نور |
LED با توان بالا: 405 نانومتر |
||
تراشه DMD |
DLP6500 |
||
منطقه نمایش تکمیدانی |
0.16*0.16 میلیمتر (@0.5 میکرومتر)، 0.4*0.4 میلیمتر (@0.7 میکرومتر)، 0.8*0.8 میلیمتر (@1 میکرومتر)، 1.6*1.6 میلیمتر (@2 میکرومتر) |
||
دوربین |
دوربین میکروسکوپ ناحیهای بزرگ (قابلیت اندازهگیری اندازه) |
||
حداقل عرض خط با فاصلهگذاری یکسان |
0.8 μm |
0.5μm |
|
دقت خیاطی |
±0.3 میکرومتر |
±0.3 میکرومتر |
|
دقت همترازی |
±0.5 میکرومتر |
±0.5μm |
|
سرعت نوشتن |
20 میلیمتر مربع/دقیقه (عرض خط ویژگی 1 میکرومتری) |
80 میلیمتر مربع/دقیقه (عرض خط ویژگی 1 میکرومتری) |
|
مرحله حرکت |
موتور خطی با دقت بالا (دقت مکانیابی قابل تکرار ±0.25µm)، مکانیسم تراز کردن، مرحله چرخشی دستی |
موتور خطی با دقت بالا (دقت مکانیابی قابل تکرار ±0.25µm)، مکانیسم تراز کردن، مرحله چرخشی الکتریکی |
|
مبدل عدسی هدف |
تعویض دستی عدسی هدف |
تعویض موتوردار عدسی هدف |
|
ماژول فوکوس کردن |
فوکوس خودکار تصویر CCD |
فوکوس فعال لیزری |
|
اندازه ویفرهای پشتیبانیشده |
4 اینچ |
4 اینچ/8 اینچ |
|
ضخامت نمونه |
0-10mm |
0-10 میلیمتر |
|















کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است