آیینه‌چین ماسک قطعه‌ای حیاتی از تجهیزات در بسیاری از آزمایشگاه‌ها است، جایی که الگوهایی کوچک‌تر از ذرات گرد و غبار روی ویفرها چاپ می‌شوند تا قطعات الکترونیکی ساخته شوند. ویفرها تکه‌های نازکی از مواد، معمولاً سیلیکون هستند که به عنوان پایه‌ای برای ساخت تراشه‌ها عمل می‌کنند. مهم است که بدانید ضخامت مناسب ویفری که محاذا کننده ماسک می‌تواند تحمل کند چقدر است. اگر ویفر خیلی ضخیم یا خیلی نازک باشد، ممکن است به درستی در جای خود قرار نگیرد یا دستگاه نتواند نور را به درستی فوکوس کند و این می‌تواند باعث مشکلاتی در محصول نهایی شود. در میندر-هاشتِک، ما شاهد انواع مختلفی از ضخامت ویفرها بوده‌ایم و واقعاً بستگی به کارهایی دارد که قصد انجام آنها را دارید و نوع دستگاهی که ساخته می‌شود.

تولید عمده نیمه‌هادی – ضخامت ویفرها برای یک آیینه‌چین ماسک چقدر می‌تواند باشد؟

هنگامی که این ترازکننده ماسک در کارخانه‌های بزرگی که نیمهرساناها را برای مشتریان متعددی تولید می‌کنند به کار می‌افتد، باید بتواند با ویفرهایی که معمولاً برای تولید ده‌ها یا صدها قطعه نیمهرسانا استفاده می‌شوند، کنار بیاید. این ویفرها در ابعاد استاندارد موجود هستند، اما ممکن است از نظر ضخامت متفاوت باشند. ویفرهایی با ضخامت حدود ۲۰۰ میکرومتر (۰٫۲ میلی‌متر) تا ۷۵۰ میکرومتر (۰٫۷۵ میلی‌متر) را می‌توان روی بیشتر دستگاه‌های ترازکننده ماسک آزمایشگاه‌ها پردازش کرد و این شامل دستگاه‌های سری Contact Mode شرکت میندر-های‌تک نیز می‌شود. ترازکننده ماسک برای استفاده در آزمایشگاه سری حالت تماس ابزارها

چگونه ضخامت ویفر مناسبی را برای تولید انبوه با ترازکننده ماسک انتخاب کنیم؟

گاهی اوقات ویفرها باید در مراحل بعدی به دلایل بسته‌بندی یا عملکرد، نازک‌تر شوند. روش متداول این است که از ویفرهای ضخیم‌تر شروع کنند و سپس در مرحله بعدی آن‌ها را نازک کنند، اما این کار یک مرحله اضافی ایجاد می‌کند و در نتیجه هزینه را افزایش می‌دهد. در میندر-هاشتک، ما توصیه می‌کنیم کل فرآیند کار را در نظر بگیرید — برای مثال نحوه انتقال ویفرها از یک دستگاه به دستگاه دیگر؛ نحوه شست‌و‌شوی آن‌ها؛ یا نحوه بررسی الگوهای روی آن‌ها. سیستم فوکوس فتولیتوگرافی ماسک سازنده حداکثر ضخامتی دارد که ویفر نمی‌تواند از آن ضخیم‌تر باشد، در غیر این صورت تصویر محو خواهد شد. بنابراین ضخامت ویفر باید در محدوده این حد باشد، در غیر این صورت الگوها شارپ نخواهند بود.

خرید ماسک آلاینری که بتواند ضخامت‌های مختلف ویفر را پشتیبانی کند، از کجا انجام شود؟

ماسکرهای مناسب به راحتی برای ویفرهایی با ضخامت‌های مختلف قابل دستیابی هستند و به گونه‌ای طراحی شده‌اند که انعطاف‌پذیری لازم را در استفاده از این دستگاه‌ها به کاربر می‌دهند. در اینجا، دستگاه‌های ترازیاب ماسک میندر-های‌تک موجود هستند که قادر به پردازش ویفرهای بسیار نازک تا نسبتاً ضخیم می‌باشند. این دستگاه‌ها برای آزمایشگاه‌ها و کارخانه‌هایی که نیاز دارند ویفرهای با ضخامت‌های متفاوت را با یک تجهیزات واحد پردازش کنند، ایده‌آل هستند. برای خریداران عمده، تهیه ماشین‌آلات از تأمین‌کننده معتبر میندر-های‌تک تضمین می‌کند که دستگاه‌هایی دریافت خواهید کرد که قادر به کار با طیف گسترده‌ای از انواع ویفرها هستند.

مشکلات معمول ترازبندی ویفرهای سه‌بعدی در یک دستگاه ترازیاب ماسک چیست؟

مشکلاتی ممکن است رخ دهد که تراز کردن ویفرهای ضخیم را هنگام کار با دستگاه ترازدهی ماسک دشوار می‌سازد. این ویفرها وزن بیشتری دارند و ممکن است با برخی دستگاه‌ها که برای ویفرهای نازک‌تر و ضعیف‌تر طراحی شده‌اند، سازگار نباشند. شرکت میندر-هاي‌تک با این مشکلات آشناست و دستگاه‌های ترازدهی ماسک ما به گونه‌ای ساخته شده‌اند که این مشکلات به حداقل برسد. یکی از این مشکلات، تماس غیریکنواخت ویفر و ماسک است. این امر می‌تواند منجر به الگوهای لبه تار یا نامنظم شود که کیفیت محصول نهایی را کاهش می‌دهد. مشکل دیگر در تنظیم سیستم ترازبندی است. علامت‌های روی خود ویفر ممکن است در صورت ضخیم بودن ویفر به راحتی دیده نشوند و موقعیت‌یابی دقیق مورد نیاز باشد. علاوه بر این، ویفرهای ضخیم‌تر ممکن است فشار بیشتری به نگهدارنده‌های دستگاه وارد کنند که برای نگه‌داشتن ویفرهای نازک‌تر طراحی شده‌اند و در صورت عدم مدیریت دقیق، زودتر ساییده یا آسیب ببینند.

چگونه تغییرات ضخامت ویفر را در فرآیند دستگاه ترازدهی ماسک مدیریت کنم؟

این فرآیند نیازمند برنامه‌ریزی مناسب و مراحل احتیاطی در کار با ویفرهایی با ضخامت‌های مختلف است. شرکت مایندر-هاستک چند روش بهترین عملکرد را ارائه می‌دهد تا آزمایشگاه‌ها و کارخانه‌ها بتوانند حداکثر بهره‌وری را از آن‌ها داشته باشند. اول، قبل از شروع ترازبندی، ضخامت ویفر خود را بررسی کنید. این امر به شما کمک می‌کند تا دستگاه را به درستی تنظیم کنید و از انجام اشتباهات جلوگیری نمایید. همچنین در صورت استفاده از یک ترازدهنده ماسک، مانند دستگاه‌های تولیدی مایندر-هاستک، تنظیم ضخامت‌های کمتر (با توجه به تنوع زیاد گزینه‌های ضخامت) آسان‌تر است. دوم، نگهدارنده‌ها و گیره‌های دستگاه به گونه‌ای سازگار شده‌اند که بتوانند ویفرهای یک اندازه را به خوبی دریافت کنند. این امر از حرکت ویفر در حین ترازبندی و قرارگیری در معرض نور جلوگیری می‌کند. سوم، ویفر و ماسک را به طور دقیق تمیز کنید تا گردوغبار و آلودگی‌ها حذف شوند. این موضوع به ویژه برای ویفرهای ضخیم‌تر مهم است، زیرا ذرات می‌توانند تماس بین ماسک و ویفر را تحت تأثیر قرار دهند.