اولین کاری که انجام میدهیم، پوشاندن سطح ماده پایه با یک ماده خاص واکنشگرا به نور است. این ماده فتوسنسیتیو است و نقش کلیدی در فرآیند دارد. سپس از یک ماسک با الگویی بر روی سطح آن استفاده میکنیم و آن را بالای آن لایه قرار میدهیم. این ماسک به عنوان یک الگو عمل میکند که سوراخهایی دارد که نور را تنها از مکانهای انتخابی عبور میدهد. بعد از آن، الگوی روی ماسک را به نور فوق بنفش (UV) که نمیتوانیم آن را ببینیم، معرض نور میکنیم. این نور تصویری از ماده فتوسنسیتیو ایجاد میکند، مشابه اینکه چگونه نور خورشید میتواند سایهای را زمانی که از طریق یک شکل برشداده شده تابش میکنید، ایجاد کند. گام نهایی شامل غوطهور کردن زیربنای ماده در نوعی محلول معروف به توسعهدهنده است. این فرآیند بخشی از لایه فتوسنسیتیو که به نور معرض شده است را حذف میکند و یک الگو را بر روی ماده پایه نشان میدهد.
در دراویژ چیدن سیم یکی از بزرگترین قسمتهایی که باید کنترل شوند، خطاهایی هستند که در طول سه گام اصلی رخ میدهند و دستیابی به نتایج خوب و دقیق بسیار مهم است. پوشش دادن a) پوشش دادن شامل پوشاندن مواد حساس به نور به صورت منظم روی ماده پایه است. یعنی هر قطعه از ماده پایه باید دوز مشابهی از ماده ویژه داشته باشد. به عبارت دیگر، ما معمولاً از ماشینها برای دستیابی به آن سطح مستقیم و تراز استفاده میکنیم. در این مرحله، کیفیت را بررسی میکنیم (بدون تپهها یا عیوب در سمت سطح).
محلول توسعهدهنده برای حذف بخشی از ماده که به آن نور رسیده استفاده میشود و الگویی را در مرحله سوم؛ یعنی توسعه، ایجاد میکند. اما همچنان میتوانیم این مرحله را اشتباه انجام دهیم. ما نباید ماده را طولانیتر از لازم در محلول نگه داریم و اگر محلول ما خیلی قوی باشد، الگویی که قصد ایجاد آن را داریم را خواهد خورد. بنابراین، ما باید زمان و غلظت محلول توسعهدهنده را بسیار دقیق کنترل کنیم تا نتایج خوبی بدست آوریم.
فواید اصلی ماشین جوشکاری سیم توانایی تصویربرداری اجزای بسیار کوچک است. این اجازه میدهد تا بتوانیم قطعات کوچک و عملکرد بالا تولید کنیم. این روش همچنین برای تولید انبوه بسیار مفید است؛ زیرا به ما اجازه میدهد تا در زمان کوتاه بسیاری از قطعات را تولید کنیم. این موضوع به ویژه در صنایعی که تقاضای بسیار بالایی برای نوع خاصی از قطعات یکسان دارند (مانند صنعت تولید الکترونیک) بسیار حیاتی است.
از سوی دیگر، نقاط ضعفی نیز وجود دارد. هزینه بالا برای فتولیتوگرافی ماسک آلاينر هم از نظر ماشینها و هم از نظر مواد مورد استفاده در آن یکی از بزرگترین چالشهای این روش است. این ماشینها ممکن است به اندازه زیادی گران باشند و ما نیاز به مواد اولیه با کیفیت بالا داریم که خودشان نیز بسیار گران هستند. همچنین، امکان ساخت ویژگیهای کوچکتر از مثلاً 10 نانومتر با این نوع روش وجود ندارد. این موضوع مهم است زیرا ما اغلب به سمت ساخت چیزهای کوچکتر و قدرتمندتر پیش میرویم. علاوه بر این، این فرآیند بسیار حساس به آلودگی است، بنابراین باید در محیط بسیار تمیز (معمولاً با نام «اتاق تمیز» شناخته میشود) انجام شود. این نیاز میتواند مسائل را کمی پیچیدهتر و گرانتر کند.
در حوزههایی از الکترونیک تا داروسازی، فتولیتوگرافی ماسک آیندهنگر بر پایه تحقیقات و توسعه اساسی استوار است. کاربرد SU-8 در صنعت الکترونیک به شکل کاملاً ضروری برای تولید دستگاههای میکروالکترونیکی مانند مدارهای مجتمع، حسگرها و نمایشگرهای تصویری میباشد. ساخت این ساختارها نیازمند ابزارهای خاص زیادی بوده است که برای انجام این کار طراحی شدهاند، جمله مثالهای خوبی میتوان به ماسک آیندهنگر EVG(R) و سیستم چسباندن وافر EVG(R) اشاره کرد.
برای مثال، در تحقیقات پزشکی، فتولیتوگرافی برای ساخت کانالهای میکروسکوپی برای تحلیل مایعات بدنی استفاده میشود؛ این فناوری بخشی از آنچه که یک آزمایشگاه روی یک شیپ مینامند است. با استفاده از این فناوری، مایعات به سرعت و با دقت قابل تحلیل هستند تا بیشتر روشنایی درباره سلامت بیمار فراهم کنند. استفاده از ماسک آیندهساز در فتولیتوگرافی برای تولید سیستمهای میکرو و نانو فلوئیدی نیز ممکن است. اگر صحیح باشد، این سیستمها دقت دوز داروها برای بیماران را افزایش میدهند و بهبود عملکرد و ایمنی درمانها را تضمین میکنند.
کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است