ماشین تراشیدن و پُلیشدهی دقیق MDAM-CMP100/150، بخش اصلی و تمام قطعات یدکی آن از موادی با مقاومت بالا به ضد خوردگی ساخته شده است. کل ماشین ضد خوردگی، پایدار، مقاوم به سوزنی و ضد رویزن است و مناسب برای تراشیدن و پُلیشدهی مکانیکی شیمیایی انواع مواد نیمه رسانا میباشد. فضای کاری از ناحیه نمایش و کنترل جدا شده است و با استفاده از سیستم کنترل لمسی دیجیتال کنترل میشود. این ماشین تحت کنترل CNC است، قابل ذخیرهسازی و بازیابی.
سیستم دستگاه دارای تابع زمانبندی است که میتواند به طور پیوسته برای ۱۰ ساعت کار کند و سرعت دیسک صافکن را کنترل کند. پنل کنترل بیرون از منطقه کار قرار دارد تا جلوی فراخوردن محلول صافکن به پنل کنترل را گیرد. تمام پارامترهای میزبان قابل تنظیم در صفحه لمسی هستند. پارامترهای فرآیند میزبان دارای توابع ذخیرهسازی و بازیابی هستند تا هماهنگی و تکرارپذیری فرآیند را تضمین کنند. نمونه وافر با استفاده از شفط هوای خالی روی سطح پایین دستگاه ثابت میشود، مجهز به پمپ شفط هوای خالی بدون روغن است و دارای عملکرد مستقل ضد شفط معکوس است.
سیستم روتاسیون افقی نمونه پیکربندی دستگاه، تابع اسکاندار دارد که محدوده اسکاندار آن قابل تنظیم در دامنه 0 تا 100% است. دامنه اسکاندار و سرعت فرکانس میتواند از طریق پنل کنترل به صورت دقیق تنظیم شود. این پیکربندی با یک سیستم رانش مستقل برای چرخش مجهز شده است که برد سرعت قابل تنظیم آن از 0 تا 120 دور در دقیقه است. این طراحی عملیاتی، تضمین میکند که نمونه طی فرآیند زدن و تلمیح به طور کامل به صورت اسکاندار تلمیح شود که به طور قابل ملاحظهای ظرفیت و کارایی تلمیح دستگاه را افزایش میدهد.
این پیکربندی با جدول نظارتی ضخامت دیجیتال مجهز شده است که دقت نظارت آن 1 میکرون است. فشار این پیکربندی روی نمونه وافر قابل تنظیم پیوسته است که برد فشار آن از 0 تا 3.5 کیلوگرم و دقت آن 2 گرم بر سانتیمتر مربع است و همچنین با دستگاه اندازهگیری فشار مجهز شده است.
عملیات دیسک سوهانزنی و صیقلدهی توسط سیستم محرک اصلی کنترل میشود و سرعت دیسک قابل تنظیم از ۰ تا ۱۲۰ دور در دقیقه است. این محدوده تغییر سرعت بهطور مؤثر سرعت سوهانزنی و صیقلدهی نمونههایی با سختی و ابعاد متفاوت را تضمین میکند و بدین ترتیب شاخصهای فرآیندی بالاتری حاصل میشود.
تعویض دیسکهای سمبادهزنی و دیسکهای پولیش ساده و سریع است؛ دیسکهای تعبیهشده امکان انتقال سریع تجهیزات از فرآیند سمبادهزنی به فرآیند پولیش را فراهم میکنند و زمان فرآیند را بهطور قابلتوجهی کاهش میدهند. همچنین دیسک سمبادهزنی مجهز به بلوک تعمیر دیسک است تا تضمین شود که دیسک سمبادهزنی صافی مناسبی داشته باشد.