گرمایش الکتریکی |
کامرا (تک‌حفره‌ای) |
||||
نامشخص |
|||||
نوع الکترود پایینی |
242mm |
||||
محدوده دمایی فرآیند |
-20-100°C |
||||
منبع PLASMA |
600W-1000W |
||||
اندازه مانومتر فشار فرآیند |
100mtorr |
||||
سیستم خلاء |
واحدهای پمپ مولکولی، سیستم‌های پمپ خشک، محفظه فرآیند |
||||
تعداد محفظه‌های خراش |
تک حفره‌ای |
||||
بغل ها |
TYPE |
اندازه/میلی متر |
متریال |
||
نامشخص |
8، 6، 4، 3، 2 |
||||
تشخیص‌گر نقطه پایانی |
گزینه |
||||
پلاسمای تحریک شده با القاء |
گزینه |
||||
ماده‌ی خوردگی |
Si، Sio، Sin، Sau، Pt، Al |
نرخ خراش |
>20 نانومتر/دقیقه (برای ماده Si02) نرخ‌های مواد مختلف با هم متفاوت است |
کنترل توزیع شده |
>85° |
روش بارگذاری |
بارگذاری باز |
لوله کشی گاز کنترل شده توسط MFC |
شش مخزن گاز در دسترس است |
گزینه خنک کننده هلیوم در پشت |
بله |
رابط انسان-ماشین |
عملیات لمسی |
حالت عملکرد |
حالت کاملاً اتوماتیک، حالت غیر کاملاً اتوماتیک |
انتخاب و پیکربندی دستگاه‌های اتوماتیک |
شما می‌توانید قطعات وارداتی یا داخلی را انتخاب کنید |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
کپی‌رایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
