Seadme omadused:
1. See seade on mõeldud paksu/peenikest kihtidega kiip-takistite lasertrimmimiseks ja on varustatud ülemaailmselt tuntud kodus toodetud laseriga, millel on ultraväike fookuskoht, mis on ideaalne paksu/peenikest kihtidega kiip-takistite materjalide töötlemiseks.
2. See sisaldab kõrgtäpsuslikku lineaarmootoriga XY-platvormi, tagades tõhusa ja suurte koguste tootmise.
3. Automaatne laadimis- ja scarfimissüsteem kõrge usaldusväärsusega tagab sujuva ja katkematult toimiva automaatse protsessi.
4. Laiendatav maatrikssüsteem toetab üle 256 mõõtemäära.
5. Viimase põlvkonna mõõtmine ja juhtimissüsteem tagab erakordse täpsuse ja kiiruse. Sellel on akromaatiline pilditoomise tehnoloogia ja pildi äratundmise positsioneerimisvõimalused.
6. Marmorist alus tagab erakordselt stabiilse masina.
Tehnilised parameetrid
Mudel |
MDSG-LT71 |
MDSG-LT71B |
Laseri lainepikkus |
1064MM |
355 mm |
Laseri võimsus |
20W |
3W |
Tüüpiline laigusuurus |
35μm |
10μm |
Fokuseerimismeetod |
Automaatne, arvutiprogrammiga juhitav. |
|
Eraldamismeetod |
Õhkjahutus |
VEEJAHUTUS |
Laserkiire liikumisvahemik |
100 mm × 100 mm |
40 mm x 40 mm |
Liikumise resolutsioon |
1.5μm |
0.76μm |
Korduv positsioneerimise täpsus |
±5μm |
±2,5 µm |
Liikumisrežiim |
Lineaarne mootor koos skaalasabaga |
|
Liikumisvahemik |
300mm*300mm |
300mm*300mm |
Korduv positsioneerimise täpsus |
±1,5 µm |
±1,5 µm |
Takistuse mõõtmise meetod |
neljajuhtmeline mõõtmine |
neljajuhtmeline mõõtmine |
Takistuse mõõtmise täpsus |
±0,02 % (keskmise takistuse korral) |
±0,02 % (keskmise takistuse korral) |
Takistuse mõõtumispiirkond |
0.1ω–50 MΩ |
0.1ω–50 MΩ |
Mõõtmiskanal |
128 kanalit (skaalautav) |
128 kanalit (skaalautav) |
Mõõtmine kiirus |
4 µs/mõõtmine |
4 µs/mõõtmine |
Null- ja täisskaala veakorrektsioon |
Automaatne parandus |
Automaatne parandus |
Sondiva kaardi spetsifikatsioon |
Kiibitakistuse pinnasüsteem |
Kiibitakistuse pinnasüsteem |
Seadme mõõtmed |
1430 × 913 × 1747 mm |
1430 × 913 × 1747 mm |
Kaal |
617 kg |
617 kg |
Töötingimused (vesi, elekter, gaas) |
Niiskus: <70 %; Toitepinge: vahuvool 220 V, 2,5 kW; Surveõhk: <0,6 MPa, <40 L/min |
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud