


Wafer-størrelse |
4”~ 8” plade |
Pladetykkelse |
100~750 mikroner |
Pladetype |
Si, SiC, GaN, eller andre materialer |
Film type |
Blå film, UV film Bredde: 230 ~ 300 mm Længde: 100 m Tykkelse: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer carrier ring |
6”、8”DISCO |
Metode for indlæsning og udlæsning |
Manuel placering og fjernelse af wafer/carrier ring |
Nøjagtighed ved filmpositionering |
±0,5mm Standard 6” og 8” wafer plader til 6” og 8” wafers |
Vakuumpumpe |
Minder-Hightech |
Antistatisk kontrol |
Deioniseringsventilator |
Styreenhed |
Baseret på PLC-kontrol, med 10" touchskærm |
Sikkerhedsbeskyttelse |
Udstyret med lysgordindsskydd og nødstopknap |
Strømforsyningsspænding |
Enkeltfased AC 220V, 16A |
Komprimeret luft |
0,45~0,6MPa, strøm 70L/min |
Maskinhuse |
Hvid plastbespruttede metalhuse |
Volumen |
850mm (bredde)*1750mm (dybde)*1970mm (højde) |
Netto vægt |
480 kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes