Reaktionsionætsmaskine (RIE) , China Reaktionsionætsmaskine (RIE) Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

RIE Reaktiv ionætningsmaskine

Forskningsapplikationerne for RIE reaktiv ionætningsmaskiner inden for fremstilling af halvledere og mikro-nano-bearbejdning afspejles hovedsageligt i bearbejdning af nanostrukturer, ætning af nye materialer, produktion af komplekse komponenter og gennembrud i tværgående teknologier. Dens kernetilværdi ligger i at opnå højpræcisions og højselektiv materialefjernelse gennem koordineret kontrol af fysisk bombardement og kemiske reaktioner. Understøtter udforskning af halvlederteknologis frontlinje og enheders innovation.

Udstyrsfunktioner:

1. Høj præcision og anisotropi: Kan ætse figurer med lodrette sidevægge og præcise dimensioner.
2. God ensartethed og reproducerbarhed: Egnet til storskalafremstilling.
3. Vid udvalg af materialer: Ved at vælge forskellige gaskombinationer kan forskellige materialer (halvledere, dielektrika, metaller osv.) ætse.
4. Højt selektivitetsforhold: Det kan præcist ætse specifikke materialer uden at forårsage betydelig skade på andre materialer.
5. Rengøring: Tørt proces, undgår problemer som rengøring og affaldsvandbehandling forårsaget af vådætning.

Specifikation

Systemkonfiguration:

Elektrisk opvarmning	Kammer (enkelt hule)
Elektrisk opvarmning		Ikke anvendelig
Nedre elektrodetype	242mm
Proces Temperatur Omfang	-20-100°C
Plasmakilde	600W-1000W
Proces trykmåler størrelse	100mtorr
Vakuum system	Molekylære pumpeenheder, tørre pumpekombinationer, proceskammer
Antallet af ætsningskamre	Enkelt hulrum
Klemmer	Type	Størrelse/mm	Materiale
Klemmer		Ikke anvendelig	8、6、4、3、2
End-point-detektor	Mulighed
Induktivt koblet plasma	Mulighed

Tekniske parametre:

Graveringsmateriale	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Ætningshastighed	>20 nm/min (SiO2-materiale) Hastighederne for forskellige materialer er ikke ens
Distribueret kontrol	>85°
Laddemåde	Åbent last
Gasledning styret af MFC	Der er seks gastanke tilgængelige
Køling bagfra med helium	Ja
Menneske-maskine-grænseflade	Skærm med touchscreen
Funktionsmode	Fuldt automatisk tilstand, ikke fuldt automatisk tilstand
Valg og konfiguration af automatiserede enheder	Du kan vælge mellem importerede eller indenlandske dele

Anvendelsessager

Pakning & Levering

Ofte stillede spørgsmål

1. Om prisen:
Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbare. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og kompleksiteten af din enheds tilpasning.

2. Om prøver:
Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekræftet, skal du først betale os en depositum, og fabrikken vil derefter begynde at forberede varerne. Når udstyret er færdigt og du har betalt restbeløbet, vil vi sende det til dig.

4. Om Levering:
Når fremstillingen af udstyret er afsluttet, sender vi dig en acceptvideo, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:
Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og fejlfinde udstyret. Vi vil fremsende en separat prisangivelse for denne service.

6. Om garanti:
Vores udstyr har en garanti på 12 måneder. Efter garantiperioden beregner vi kun omkostningerne ved eventuelle beskadigede dele, der skal udskiftes.

7. Eftersalgsservice:
Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.