Fremhæve
Introduktion: Instrumentet til magnetron-sputterbelægning er en omkostningseffektiv magnetron-sputterbelægningsudstyr, som vores virksomhed har udviklet uafhængigt, og som har karakteristika som standardisering, modulering og tilpasning efter kundens behov. Magnetrontargetene er tilgængelige i størrelserne 1 tomme, 2 tommer og 3 tommer, og kunderne kan vælge efter størrelsen af det substrat, der skal belægges; strømforsyningen er en 500 W høj-effekt DC-strømforsyning, som kan anvendes til højenergi metal-sputterbelægning. I henhold til eksperimentelle krav kan der også vælges andre specifikationer af DC- eller RF-strømforsyninger for at realisere belægningsprocessen for forskellige materialer.
Anvendelse: Kan bruges til fremstilling af enkeltlag eller flerlags ferroelektriske tyndfilm, ledende film, legeringsfilm, halvlederfilm, keramiske film, dielektriske film, optiske film mv.