Introduktion:
Magnetron-sputtercoatinginstrumentet er en omkostningseffektiv magnetron-sputtercoatingudstyr, som vores virksomhed har udviklet selv, og som har karakteristika som standardisering, modulering og tilpasning. Magnetrontargetene er tilgængelige i 1 tomme, 2 tommer og 3 tommer, og kunderne kan vælge efter størrelsen af det substrat, der skal belægges; strømforsyningen er en 500 W højtydende DC-strømforsyning, som kan bruges til højenergi metal-sputtercoating. I henhold til eksperimentelle krav kan der også vælges andre specifikationer af DC- eller RF-strømforsyninger for at realisere coatingoperationer på forskellige materialer.
Anvendelsesområde:
Kan bruges til fremstilling af enkeltlagige eller flerlagige ferroelektriske tyndfilm, ledende film, legeringsfilm, halvlederfilm, keramiske film, dielektriske film, optiske film mv.