EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Planetarisk enkeltmål-magnetronbelægningsinstrument
Introduktion: Dette udstyr er et skrivebordsbaseret planetarisk magnetron-belægningsinstrument med én målretning. Den nederste halvdel af kammeret er fremstillet i rustfrit stål, mens den øverste del er fremstillet af højren kvarts. Konstruktionen tager hensyn til både vakuumpræstationen og muligheden for at rumme komplekse prøveholdere. Udstyrets udseende er på skrivebordsniveau, hvilket betydeligt reducerer kravene til installationsstedet. Udstyret er udstyret med en jævnstrømsstrømforsyning og kan bruges til sputtering af metaller og andre ledende materialer. Vakuum-systemet i udstyret anvender en turbomolekularpumpegruppe, der sikrer hurtig pumpning, høj maksimal vakuumgrad og fremragende vakuumpræstation. Dette udstyr har en kompakt konstruktion, fuldstændige funktioner og er nemt at betjene. Det er yderst velegnet til forskellige belægningsforsøg.
