
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Antal tyndskæringsakser  |  2 | 
| Antal arbejdsborde  | 3, Indexmetode  | 
| Slibningshjulsaksel  | Antal luftspindle: 2  Spindelmotor: 7,5kW variabel frekvensmotor Hastighed: 0~6000rpm, trinløst justerbar Skræddansk specifikation: Φ203mm Skræddansk type: diamantskræddansk | 
| Skræddansksystem  | Mængde: 2 sæt  Fodsystem kontrolmetode: LM vejrstykke og boldskrue kombineret Drejværk: servo motor Minimum fodhastighed: 0,1um/sec Maksimum fodhastighed: 50mm/sec | 
| ARBEJDSBORD    | Antal: 3, Index-tilstand  Spindelmotor: Servo motor Hastighed: 0~300 omd./min., trinløst justerbar Adsorptionsmetode: Vakuumsorption | 
| Arbejdsbord drehplade  | Drevsmodus: servo motor  Roteringsomfang: 0~240° Positioneringsform: sensorbaseret positionering | 
| Automatisk tykkelse  målesystem | Målemåde: IPG kontakt online i realtid  Antal målehoveder: 2 Målesensor: 0,1um-niveau sensor | 
| Automatisk indlæsning/  udlæsningssystem | Boks type: 6-8 tommer Cassette, 25 lag  Metode for automatisk indlæsning/udlæsning: wafer manipulator bruges for at sikre transport af tynde wafers uden skade Plade tykkelse: 150um-1000um | 
| Arbejdsbord rensnings funktion  | Rensningsmetode: Oliepap polering & DI vand+luft to-liquid spoling  | 
| Automatisk rensning/  tørringssystem | Rensning: DIW dusnozzle renser  Tørkemetode: Blæsning +tørkning Hastighed: max1000rpm trinløst justerbar | 
| Statisk eliminationssystem  | Ion bar eller Orion blæser  | 
| Spindle køler  | Temperatur: 18-22°C  Flow rate: 4~8L/min | 
| Kontrolsystem    | Styringssystem: PC-styringssystem, touchskærm med 3-farvealarmlys  Kinesisk/engelsk brugergrænseflade | 
| Maksimal plade størrelse  | Maksimalt kompatibel med 8 tommer  | 
| Hastighedsområde    | 0~6000 OMDR./MIN.  | 
| Z-akse rejsning  | 160mm  | 
| Z-aksen  | 0,1~100um/sek  | 
| Hastighed for hurtig retraktion på Z-akse  | 50mm/sek  | 
| Oppløsning på z-aksen  | 0.1um  | 
| Måleområde for online tykkelse  | 0~1800um  | 
| Online tykkelsemålingopløsning  | 0.1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes