Introduktion:
Denne udstyr er et magnetron-belægningsinstrument med to mål. Det er udstyret med to magnetrontargets og to sæt DC-strømforsyninger. Det kan bruges til at belægge flerlagede ledende metalfilm. Samtidig består udstyret af to dele: hovedkammeret og overgangskammeret. Overgangskammeret er udstyret med en magnetisk skubestang, og en vakuumsluseventil er installeret mellem de to kamre. Brugeren kan indlæse prøver i overgangskammeret og foretage forvakuum, mens der udføres sputtering i hovedkammeret. Når sputteringen i hovedkammeret er afsluttet, kan prøven skubbes ind på prøvestadiet i hovedkammeret via den magnetiske skubestang. Denne konstruktion kan reducere antallet af gange, hvor hovedkammeret skal udtømmes og åbnes, hvilket ikke kun effektivt sparer tid, men også sikrer en bedre lokal vakuum og effektivt forbedrer belægningskvaliteten.
Anvendelsesområde:
Kan bruges til fremstilling af enkeltlagige eller flerlagige ferroelektriske tyndfilm, ledende film, legeringsfilm, halvlederfilm, keramiske film, dielektriske film, optiske film mv.