Præcisions-CMP-system

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Præcisions-CMP-system

Udstyrs oversigt:

Præcisions-CMP-systemet bruges primært til slibning og tyndning af hovedhalvlederchips såsom silicium, siliciumdioxid og indiumantimonid-fokalplan-chips samt kemisk-mekanisk polering af bund, overflade og endeflade.

Hele maskinen og alle udstyrsdele er fuldstændigt korrosionsbestandige, og procesparametrene kan indstilles via den berøringsfølsomme skærm med interaktiv grænseflade.

Behandlingsdygtig prøvestørrelse:

Prøvestørrelse ≤ 152 mm / 6 tommer

Behandlingsdygtig tykkelse er 50 μm – 10 mm

Opnåelige procesindikatorer:

1. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ75 mm wafer er inden for 2 μm;

2. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ100 mm wafer er inden for 3 μm;

3. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ150 mm wafer er inden for 4 μm.

Typer af prøver, der kan behandles:

Silicium, siliciumcarbid, diamant, keramik, galliumnitrid, kvarts, galliumantimonid, indiumfosfid, galliumarsenid, cadmium-zink-tellurid, kviksølv-cadmium-tellurid, lithiumniobat og andre halvledermaterialer.

Udstyrsfunktioner:

1. Realisering af slutpunkt-detekteringsfunktionen til styring af prøvens tykkelse.

2. Online, realtidsstyring af slib- og polerpladens temperatur samt kølefunktion.

3. Flere kanaler for tilførselssystemet.

4. Automatisk spül-funktion for slib- og polerpladen.

5. Automatisk reparation af pladen.

6. Fastspændingsanordningen er udstyret med et digitalt tykkelsesovervågningsbord med en overvågningsnøjagtighed på 0,1 µm.

Tekniske parametre:

Enhedskonfiguration:

Ofte stillede spørgsmål

1. Om prisen:

Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbare. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og kompleksiteten af din enheds tilpasning.

2. Om prøver:

Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om betaling:

Når planen er bekræftet, skal du først betale os en depositum, og fabrikken vil derefter begynde at forberede varerne. Når udstyret er færdigt og du har betalt restbeløbet, vil vi sende det til dig.

4. Om Levering:

Når fremstillingen af udstyret er afsluttet, sender vi dig en acceptvideo, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:

Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og fejlfinde udstyret. Vi vil fremsende en separat prisangivelse for denne service.

6. Om garanti:

Vores udstyr har en garanti på 12 måneder. Efter garantiperioden beregner vi kun omkostningerne ved eventuelle beskadigede dele, der skal udskiftes.

7. Eftersalgsservice:

Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.