Præcisions-CMP-system

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Præcisions-CMP-system

Udstyrs oversigt:

Præcisions-CMP-systemet bruges primært til slibning og tyndning af hovedhalvlederchips såsom silicium, siliciumdioxid og indiumantimonid-fokalplan-chips samt kemisk-mekanisk polering af bund, overflade og endeflade.

Hele maskinen og alle udstyrsdele er fuldstændigt korrosionsbestandige, og procesparametrene kan indstilles via den berøringsfølsomme skærm med interaktiv grænseflade.

Behandlingsdygtig prøvestørrelse:

Prøvestørrelse ≤ 152 mm / 6 tommer

Behandlingsdygtig tykkelse er 50 μm – 10 mm

Opnåelige procesindikatorer:

1. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ75 mm wafer er inden for 2 μm;

2. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ100 mm wafer er inden for 3 μm;

3. Den samlede tykkelsesafvigelse (TTV) for en φ150 mm wafer er inden for 4 μm.

Typer af prøver, der kan behandles:

Silicium, siliciumcarbid, diamant, keramik, galliumnitrid, kvarts, galliumantimonid, indiumfosfid, galliumarsenid, cadmium-zink-tellurid, kviksølv-cadmium-tellurid, lithiumniobat og andre halvledermaterialer.

Udstyrsfunktioner:

1. Realisering af slutpunkt-detekteringsfunktionen til styring af prøvens tykkelse.

2. Online, realtidsstyring af slib- og polerpladens temperatur samt kølefunktion.

3. Flere kanaler for tilførselssystemet.

4. Automatisk spül-funktion for slib- og polerpladen.

5. Automatisk reparation af pladen.

6. Fastspændingsanordningen er udstyret med et digitalt tykkelsesovervågningsbord med en overvågningsnøjagtighed på 0,1 µm.

Tekniske parametre:

Enhedskonfiguration:

Ofte stillede spørgsmål

1. Om Pris:

Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbar. Prisen varierer alt efter konfigurationen og graden af tilpasning af din enhed.

2. Om Sample:

Vi kan tilbyde eksempelproduktionstjenester, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om betaling:

Når planen er bekræftet, skal du først betale en afgift, og fabrikken vil begynde at forberede varerne. Når udstyret er klar, og du har betalt restbeløbet, sender vi det ud.

4. Om Levering:

Når produktionen af udstyret er færdig, sender vi dig acceptancetest-videoen, og du kan også komme til lokationen for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:

Når udstyr ankommer på din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og afstille udstyret. Vi vil give dig et separat tilbud for denne servicegebyr.

6. Om garanti:

Vores udstyr har en 12-måneder garanti periode. Efter garanti perioden, hvis nogen dele er skadede og skal erstattes, vil vi kun opkræve kostprisen.

7. Eftersalgsservice:

Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.