Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Få et tilbud

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Forside
Om os
MH Udstyr
Case-video
Løsning
Brugere Udenfor Landet
Kontakt os
Forside > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine
  • MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine
  • MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine
  • MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine

MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine

Model: MDICP-5000F

Få et gratis tilbud
MDICP-5000F-fuldautomatisk ICP-ætsningsmaskine
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Eksekutivsammandrag:

Udstyret er et to-kammer-vacuum-system. Et kammer er injektionsprøvekammeret og det andet er etsningskammeret. En vacuum-lås er installeret mellem injektionsprøvekammeret og etsningskammeret, og prøven transporteres af manipulator.
Udstyr består hovedsagelig af vakuum system, gas kreds system, elektrisk system, kontrol system, køle system, film føring og tage mekanisme, alarm system m.m.

Vacuum System:

Systemet består af en molekylpumpe med en pumperhastighed på 600 L/S + en importeret vakuumtørpumpe med en pumperhastighed på L/S til at pumpe etch-kammeret til høj vakuum. Der er installeret en elektrisk dynamisk trykfasteventil mellem molekylpumpen og etch-kammeret. Den importerede tørpumpe er forpumpen til etch-kammeret og den foranliggende pump til molekylpumpen. Brug en anden mekanisk pump med en pumperhastighed på L/S til at skabe vakuum i prøve-kammeret. Stålbøger bruges til forbindelse mellem mekaniske pump og vakuumkammer og molekylpump, og der er installeret en elektromagnetisk pneumatisk blokeringsventil.

Konstant tryk kontrol system

Udstyret er udstyret med et nedstrøms konstant trykstyringssystem, og der er installeret en elektrisk justerbart ventil i luftudtrækningsrøret. Gennem måling af filmtryk (importerede komponenter) kontrolleres den justerbare ventil for at få vacuumkammeret til at opnå konstant tryk, hvilket forbedrer processtabiliteten.

Konstant tryk kontrol system

Udstyret er udstyret med et nedstrøms konstant trykstyringssystem, og der er installeret en elektrisk justerbart ventil i luftudtrækningsrøret. Gennem måling af filmtryk (importerede komponenter) kontrolleres den justerbare ventil for at få vacuumkammeret til at opnå konstant tryk, hvilket forbedrer processtabiliteten.

Gasledningssystem

To sæt RF-strømforsyninger med automatisk matchning.

En alarm system

Sikkerhedskrav til udstyr.
Specifikation
Navn
Spc
Mærke
Nr.⁄Stk
Note
Fremhugningskammer, luftudtrækningsrør, observatationsvindue, reserveret grænseflade mv
Standard
JSWN
1
Korrosionsbestandig
Ramme, elektrisk skab, sigiller, standardkomponenter mv
Standard
JSWN
1
System til løftning af etchinkammerets dæk
Standard
JSWN
1
Korrosionsbestandig
Etching-elektrode og kølesystem
Standard
JSWN
1
Korrosionsbestandig
Molekylær pump (pumpenhastighed 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Korrosionsbestandig
Indgangs-tørre pump (pumpenhastighed 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Korrosionsbestandig
Maskinpump (pumpenhastighed 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrisk reguleringsskruvemur
DCQ-150
JSWN
1
Korrosionsbestandig
Pneumatisk membranstopmur
KF40
JSWN
3
Korrosionsbestandig
Filmregulator
KF16
INFICON
1
Korrosionsbestandig
Massedurchflussregler
D07
Sevenstar
4
Korrosionsbestandig
Pneumatisk membranmur
1/4" VCR
–
4
Korrosionsbestandig
Edelstål rør, rørmaskeringsforbindelse mv
1/4" VCR
–
4
Korrosionsbestandig
RF strømforsyning / automatisk matcher
–
Kina (Valgfrit CROWN1310)
1
RF strømforsyning / automatisk matcher
–
Kina (Valgfrit CROWN1310)
1
Samlet vakuummåler
ZDF
RB
1
IPC
2U
Kina
1
LCD-berøringsskærm
17 inches
Kina
1
PLC-styresystem
S7-200
Siemens
1
Elektrisk drivsystem kontrolsystem
Standard
JSWN
1
Afledning af kølevand og rørledningssystem
Standard
JSWN
1
Afledning af komprimeret luft og rørledningssystem
Standard
JSWN
1
Kølemaskine til cirkulationsvand
Hx
Kina
1
Indsprøjtningskammer til etching
Standard
JSWN
1
Vacuum-lås
Smc
Smc
1
Manipulatorstyringssystem
Smc
Smc
1

Mail med tekniske parametre

1. Grænse for vacuum: Etching-kammer 9.0×10-5Pa (Indendørs fugtighed≤55%)
Indsprøjtningskammer til prøve 6.0×10-1Pa
2. Etching-materiale: Ⅲ, Ⅴ Materiale, Si, SiO2, mv.
3. Etchingshastighed: ~ 1μ/min
4. Etchingjævnhed: ≤±5％(φ125mm område)
6. Elektrodestorrelse: φ200mm

Ofte stillede spørgsmål

1. Om prisen:

Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbare. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og kompleksiteten af din enheds tilpasning.

 

2. Om prøver:

Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

 

3. Om betaling:

Når planen er bekræftet, skal du først betale os en depositum, og fabrikken vil derefter begynde at forberede varerne. Når udstyret er færdigt og du har betalt restbeløbet, vil vi sende det til dig.

 

4. Om Levering:

Når fremstillingen af udstyret er afsluttet, sender vi dig en acceptvideo, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.

 

5. Installation og Fejlsøgning:

Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og fejlfinde udstyret. Vi vil fremsende en separat prisangivelse for denne service.

 

6. Om garanti:

Vores udstyr har en garanti på 12 måneder. Efter garantiperioden beregner vi kun omkostningerne ved eventuelle beskadigede dele, der skal udskiftes.

 

7. Eftersalgsservice:

Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.

Flere produkter

Forespørgsel

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privatlivspolitik

Forespørgsel E-mail WhatsApp WeChat
ØVERST
×

Kontakt os