Udstyrets egenskaber
1. Denne udstyr er designet til lasertrimning af high-end halvlederwafer.
2. Udstyret er udstyret med en laser fra USA, der sikrer fremragende stabilitet under lasertrimning.
3. Indeholder en anti-støjdæmpende, højpræcisions linearmotor XY-stage med gittermålestok, hvilket effektivt mindsker maskininduceret støj på produkterne.
4. Indeholder en 12-megapixel CCD-kamera til præcis positionering.
5. Indeholder akromatisk billedteknologi og funktioner til billedgenkendelse og positionering.
6. Indeholder GPIB og andre eksterne grænseflader til tilslutning af eksterne instrumenter til måling eller justering af modstand.
7. Marmorbase sikrer fremragende maskinstabilitet
Tekniske parametre
Model |
MDSG-LT74 |
Laserbølgelængde |
1064/355 nm |
Laserstyrke |
6W/4W |
Typisk pletstørrelse |
25-35μm |
Fokuseringsmetode |
Automatisk, styret af computerprogram. |
Kølemetode |
Luftkøling |
Laserstråles bevægelsesområde |
27 mm × 27 mm |
Bevægelsesopløsning |
0.76μm |
Gentagelsespositioneringsnøjagtighed |
±2,5 µm |
Bevægelsesmåde |
Lineær motor med gitterlineal mod interferens |
Bevægelsesområde) |
300 mm × 300 mm |
Gentagelsespositioneringsnøjagtighed |
±1 µm |
Metode til modstandsmåling |
4-ledermåling |
Nøjagtighed af modstandsmåling |
±0,02 % (mellemmodstand) |
Resistancemålingsområde |
0.1ω–50 MΩ |
Målehastighed |
4 µs/pr. måling |
Nul- og fuldskala-fejlkorrigeringsfunktion |
Automatisk korrektion |
Probedefinition |
Programmerbar vilkårlig indstilling |
Grænseflade |
GPIB |
Udstyr dimension |
1430 x 913 x 1747 mm |
Vægt |
617 kg |
Driftsbetingelser (vand, el, gas) |
Fugtighed: <70 %; Strømforsyning: vekselstrøm 220 V, 2,5 kW; Trykluft: <0,6 MPa, <40 L/min |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes