Model: MDST-6100
ICP-tørplasma-askeren er velegnet til anvendelser såsom descumming (forbehandling og reststof-fjernelse), polymerfjernelse (PI, BCB, PBO) og post-ionimplanterings-fotolitografiresist-fjernelse; kammeret kan rumme 8-tommers prøver (med kompatibilitet til 4-tommers og 6-tommers størrelser).
ICP-tørrplasma-fotolakfjerner
ICP-tørplasma-askeren er velegnet til anvendelser såsom descumming (forbehandling og reststof-fjernelse), polymerfjernelse (PI, BCB, PBO) og post-ionimplanterings-fotolitografiresist-fjernelse; kammeret kan rumme 8-tommers prøver (med kompatibilitet til 4-tommers og 6-tommers størrelser).
Udseendet af udstyret er underlagt løbende opgraderinger og justeringer; det faktisk leverede produkt er afgørende.
Fordel:
Høj grad af plasma-ionisering og nedbrydning
Efter plasma-behandling er reproducerbarheden høj
Tør ætsning, ingen forureningkilde
Styr tryk og temperatur via sommerfuglventiler
Kan opretholde plasma ved højt tryk
Adskillelse af højspændingskilde og iongenerator
Mikrobølge-kobling og magnetkreds er kompatible
Kan opfylde kundens krav
Lav temperatur under behandlingen
Hurtig responshastighed og kort responstid
Model |
MDST6100 |
Plasmakilde |
radiofrekvens |
effekt |
1000W |
Anvendelsesområde |
8 tommer (kompatibel med 4 eller 6 tommer) |
Kasse størrelse |
25 stykker |
Samlede dimensioner |
L1696×B2170×H2146 mm |
Systemkontrol |
PLC |
Materialebæssesystem |
Automatisk |
Faktiske billeder af udstyr:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle rettigheder forbeholdes
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
