Enkelt hul, to huller og fire huller Stærk proceskapacitet, kan understøtte applikationer såsom Wafer Start og procesrensning God konsekvens af udstyrsinterchip-teknologi
Anvendelsesfelter
Fjernelse af overflade-partikler fra 4–8 tommer store siliciumbaserede og forbindelsesbaserede wafere.
Tekniske parametre
4-tomme, 6-tomme, 8-tomme børstehulle Spinnerhastighed op til 4000RPM Dobbelt-armet børstekammer, tilgængelig i Børste, AS, JET, Megasonics rensningsmetoder Kan understøtte væskeregningsfunktion
LoadPort enhed, indlæsningsenhed
LoadPort er indlæsningsenheden på denne apparat
Kan foretage Wafer Mapping Udstyret med Wafer slide detektion
Overførselsrobotenhed
Dual Blade Robot, valgfrit med vakuum eller bakkeaf typen Blade.
Justerings- og vendingsenhed
Kan justere og placere flade kanter Wafer kan vendes for at skrabe krystallryggen
1. Understøtter Wafer input og output samtidig, samt A input og B output tilstande 2. Kan understøtte børstning af fronten af kammer A og bagden af kammer B 3. Kan understøtte dobbeltkammerparallel rengøring
Beskrivelse af børstenhed
Som vist på figuren Wafer fastgjort oven på Spinner
Arm1&Arm2 kan bruges i kombination med forskellige børstningsmetoder beskrevet tidligere til at rengøre wafers.
Efter rengøring roterer Spinner med høj hastighed for at centrifugere og tørre waferen
Justerings- og vendingsenhed
Wafer kan bruges til bolig- og niveaueringsformål
Wafer kan vendes om
Udstyrstørrelse: 160x150x220 (mm) Indlæsnings- og udlæsningsmetoder: samme ind og samme ud & A ind og B ud Antal børstel enheder: 2 Børstemoder: Børst, AS, JET, Megasonics rengøringsmetoder, understøtter farmaceutisk rengøring
Pakning & Levering
Ofte stillede spørgsmål
1. Om prisen: Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbare. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og kompleksiteten af din enheds tilpasning.
2. Om prøver: Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.
3. Om Betaling: Når planen er bekræftet, skal du betale en depositum først, og fabrikken vil begynde at forberede varerne. Når udstyret er klar, og du betaler resten, vil vi sende det ud.
4. Om Levering: Når fremstillingen af udstyret er afsluttet, sender vi dig en acceptvideo, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.
5. Installation og Fejlsøgning: Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og fejlfinde udstyret. Vi vil fremsende en separat prisangivelse for denne service.
6. Om garanti: Vores udstyr har en garanti på 12 måneder. Efter garantiperioden beregner vi kun omkostningerne ved eventuelle beskadigede dele, der skal udskiftes.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
