strukturform |
Horisontal, enkelt- eller flertybsystem med automatisk kontrol |
Tilpasset til vafersstørrelse |
2-8″ |
Vafervask og -hentningsmetode |
Automatisk kantilerveer kvarts tryg-pull båd, kombineret med manuel chip-håndtering og frigivelse. |
maksimal temperatur |
1050℃ |
arbejdstemperatur |
400 ℃~850 ℃ kontinuerligt justerbar |
Enkelt punkt temperaturstabilitet |
400℃~850℃≤±0,5℃/24h |
Systemgrænsevacuum |
Bedre end 1Pa |
pumpenhastighed |
Pumpetid til grænsevacuum < 15Min |
Arbejdstrykområde |
5Pa til 1 × 105Pa kontinuerligt justerbar |
Strømforsyning |
3 fasers 5-tråd 380V±10%, 50Hz |
kølevand |
2~4Kgf/cm², 8L/min; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
