projekt |
Specifikationer |
bemærkninger |
||
1 |
Udstyrs oversigt |
Udstyretnavn: Fuld automatisk ensartet lægning af klæbmaskine |
||
Udstyrets model: MD-2C2D6 |
||||
Behandling af wafer-specifikationer: kompatibel med 4/6-pås standard wafers |
||||
Processtrøm for ensartet klæb: Blomsterkurv skæring → centrering → ensartet klæb (trille → ensartet klæb → kantfjernelse, rygsiden vaskning) → varmeplade → kølplade → kurv placering Udviklingsprocesstrøm: Blomsterkurv skæring → centrering → udvikling (udviklingsløsning → deioniseret vand, rygsiden vaskning → kvælstof tørkning) → varmeplade → kølplade → kurv placering |
||||
Samlet størrelse (ca.): 2100mm (B) * 1800mm (D) * 2100mm (H) |
||||
Kemikaliekabinstørrelse (ca.): 1700(B) * 800(D) * 1600mm (H) |
||||
Samlet vægt (ca.): 1000kg |
||||
Arbejdsbordshøjde: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kassettenhed |
Antal: 2 |
||
Kompatibel størrelse: 4/6 tommer |
||||
Kassetteopdagelse: mikroskak-opdagelse |
||||
Træk ud-detection: Ja, reflektiv sensor |
||||
3 |
robot |
Mængde: 1 |
||
Type: To-armet vakuumadsorptionsrobot |
||||
Frihedsgrader: 4-akser (R1, R2, Z, T) |
||||
Fingermateriale: keramik |
||||
Substratfixeringsmetode: vakuumadsorptionsmetode |
||||
Kortlægningsfunktion: Ja |
||||
Positioneringsnøjagtighed: ± 0,1mm |
||||
4 |
Centreringseenhed |
Mængde: 1 sæt |
Valgfri optisk justering |
|
Justeringmetode: mekanisk justering |
||||
Centreringsnøjagtighed: ± 0,2mm |
||||
5 |
Enhed for ensartet lim |
Mængde: 2 sæt (følgende er konfigurationerne for hver enhed) |
||
Spindelrotationshastighed: -5000rpm~5000rpm |
førende rolle |
|||
Aksekspiration nøjagtighed: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Minimum justering af akseksrotationsspeed: 1rpm |
||||
Maksimal acceleration af akseksrotation: 20000rpm/s |
førende rolle |
|||
Trådende arm: 1 sæt |
||||
Fotoreseanledning rute: 2 ruter |
||||
Fotoreseanledning diameter: 2.5mm |
||||
Fotoreseanledning isolation: 23 ± 0.5 ℃ |
valgfri |
|||
Fugtighedsudskylning: Ja |
||||
RRC: Ja |
||||
Buffer: Ja, 200ml |
||||
Glue metode: centralt dråb og scannende dråb er valgfrie |
||||
Kantfjerningsarm: 1 sæt |
||||
Kantfjerningsnozzle diameter: 0,2mm |
||||
Kantfjerningsvæskestrøm overvågning: flydeflødeskala |
||||
Strøminterval for kantfjerningsvæske: 5-50ml/min |
||||
Retrovaskering pipeline: 2 veje (4/6 tommer hver med 1 kanal) |
||||
Retrovaskeringsstrøm overvågning: flydeflødeskala |
||||
Retrovaskeringsvæske strøm interval: 20-200ml/min |
||||
Chip fixationsmetode: lille areal vakuum adsorption Chuck |
||||
Alarm for vakuumtryk: digital vakuumtryksensor |
||||
Klødningsmateriale: PPS |
||||
Cup-materiale: PP |
||||
Afledning af cup: digital tryksensor |
||||
6 |
Udviklingsenhed |
Lysfilter:ja |
||
Mængde: 2 sæt (følgende er konfigurationerne for hver enhed) |
||||
Spindelrotationshastighed: -5000rpm~5000rpm |
førende rolle |
|||
Aksekspiration nøjagtighed: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Minimum justering af akseksrotationsspeed: 1rpm |
||||
Maksimal acceleration af akseksrotation: 20000rpm/s |
førende rolle |
|||
Udviklingsarm: 1 sæt |
||||
Udviklingsrør: 2-vejs (fløjteformet/søjleformet dusjn) |
||||
Filtrering af udvikler: 0,2um |
||||
Temperaturregulering af udvikler: 23 ± 0,5 ℃ |
valgfri |
|||
Udviklingsløsningsstrømsområde: 100~1000ml/min |
||||
Bevægelsesmode for udviklingsarmen: fast punkt eller scanning |
||||
Fusionsarm: 1 sæt |
||||
Deioniseret vandpipeline: 1 circuit |
||||
Deioniseret vandspredediameter: 4mm (indendiameter) |
||||
Deioniseret vandstrømsområde: 100~1000ml/min |
||||
Nitrogen-tøringspipeline: 1 circuit |
||||
Nitrogenspredediameter: 4mm (indendiameter) |
||||
Nitrogenstrømsområde: 5-50L/min |
||||
Udvikler, deioniseret vand, nitrogenstrømovervågning: flydeflowmeter |
||||
Retrovaskering pipeline: 2 veje (4/6 tommer hver med 1 kanal) |
||||
Retrovaskeringsstrøm overvågning: flydeflødeskala |
||||
Retrovaskeringsvæske strøm interval: 20-200ml/min |
||||
Chip fixationsmetode: lille areal vakuum adsorption Chuck |
||||
Alarm for vakuumtryk: digital vakuumtryksensor |
||||
Klødningsmateriale: PPS |
||||
Klødningsmateriale: PPS |
||||
Cup-materiale: PP |
||||
Afledning af cup: digital tryksensor |
||||
7 |
Enhed til tacking |
Antal: 2 |
valgfri |
|
Temperaturområde: rumstemperatur~180 ℃ |
||||
Temperaturhomogenitet: Rumstemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Fjern 10mm fra kanten, undtagen udskudningspinhullet) |
||||
Minimum justeringsmængde: 0,1 ° C |
||||
Temperaturregleringsmetode: PID-regulering |
||||
PIN højdeområde: 0-20mm |
||||
PIN materiale: krop SUS304, PIN pin kap PI |
||||
Bageringsafstand: 0,2mm |
||||
Overtemperaturalarm: alarm for positiv og negativ afvigelse |
||||
Forsyningsmetode: Boblen, 10 ± 2ml/min |
||||
Kammerdrift ved vakuum: -5-20KPa |
||||
8 |
Helepladeenhed |
Antal: 10 |
||
Temperaturinterval: rumtemperatur~250 ℃ |
||||
Temperaturhomogenitet: Rumstemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Fjern 10mm fra kanten, undtagen udskudningspinhullet) |
||||
Minimum justeringsmængde: 0.1 ℃ |
||||
Temperaturregleringsmetode: PID-regulering |
||||
PIN højdeområde: 0-20mm |
||||
PIN materiale: krop SUS304, PIN pin kap PI |
||||
Bageringsafstand: 0,2mm |
||||
Overtemperaturalarm: alarm for positiv og negativ afvigelse |
||||
9 |
Kølepladeenhed |
Antal: 2 |
||
Temperaturinterval: 15-25 ℃ |
||||
Kølemetode: konstant temperatur cirkulationspumpe køling |
||||
10 |
Kemisk forsyning |
Photoresist-lager: pneumatisk limpumpe * 4 sæt (Valgfri tank eller elektrisk limpumpe) |
||
Limudskrivningsvolumen: maksimalt 12ml pr. session, nøjagtighed ± 0,2ml |
||||
Kantfjernelse/bagvaskning/RRC-forSyning: 18L tryktank * 2 (automatisk genopfyldning) |
||||
Niveaovervågning til kantfjernelse/bagvaskning/RRC: fotoelektrisk sensor |
||||
Photoresist-niveauovervågning: fotoelektrisk sensor |
||||
Afladning af ensartet limaffald: 10L affaldstank |
||||
ForudlerforSyning: 18L tryktank * 4 (Lagret i kemikaliekabinetten udenfor maskinen) |
||||
Deioniseret vandforSyning: fabrik direkte forSyning |
||||
Udvikling af væskeovervågning: fotoelektrisk sensor |
||||
Udvikler affaldsfrigivelse: fabriksaffaldsfrigivelse |
||||
Levering af tackifier: 10L tryktank * 1, 2L tryktank * 1 |
||||
Niveaumonitorering af tackifier: fotoelektrisk sensor |
||||
11 |
kontrolsystem |
Styringsmetode: PLC |
||
Menneske-maskine operationsgrænseflade: 17 tommer touchscreen |
||||
Upafbrudt strømforsyning (UPS): Ja |
||||
Indstil krypteringsrettigheder for enhedsoperatører, teknikere, administratorer |
||||
Signalårstype: rød, gul, grøn 3 farver |
||||
12 |
Systemtilfælighedsindikatorer |
Opptime: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA: ≥24h |
||||
Fragmenteringsrate: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Andre funktioner |
Gul lys: 4 sæt (placering: over gluemikseren og udviklingsenheden) |
||
THC: Ja, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2% |
valgfri |
|||
FFU: Klasse 100, 5 sæt (processenhed og ROBOT-område) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
