Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Få et tilbud

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Forside
Om os
MH Udstyr
Løsning
Brugere Udenfor Landet
Video
Kontakt os
Hjem> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE
  • Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE

Materialeætsning Ablageringsreaktion Ionætsningsmaskine RIE

Få et gratis tilbud
Produktbeskrivelse

RIE Reaktiv ionætningsmaskine

Forskningsapplikationerne for RIE reaktiv ionætningsmaskiner inden for fremstilling af halvledere og mikro-nano-bearbejdning afspejles hovedsageligt i bearbejdning af nanostrukturer, ætning af nye materialer, produktion af komplekse komponenter og gennembrud i tværgående teknologier. Dens kernetilværdi ligger i at opnå højpræcisions og højselektiv materialefjernelse gennem koordineret kontrol af fysisk bombardement og kemiske reaktioner. Understøtter udforskning af halvlederteknologis frontlinje og enheders innovation.

Udstyrsfunktioner:

1. Høj præcision og anisotropi: Kan ætse figurer med lodrette sidevægge og præcise dimensioner.
2. God ensartethed og reproducerbarhed: Egnet til storskalafremstilling.
3. Vid udvalg af materialer: Ved at vælge forskellige gaskombinationer kan forskellige materialer (halvledere, dielektrika, metaller osv.) ætse.
4. Højt selektivitetsforhold: Det kan præcist ætse specifikke materialer uden at forårsage betydelig skade på andre materialer.
5. Rengøring: Tørt proces, undgår problemer som rengøring og affaldsvandbehandling forårsaget af vådætning.
Specifikation
Systemkonfiguration:
Elektrisk opvarmning
Kammer (enkelt hule)
N/A
Nedre elektrodetype
242mm
Proces Temperatur Omfang
-20-100°C
Plasmakilde
600W-1000W
Proces trykmåler størrelse
100mtorr
Vakuum system
Molekylære pumpeenheder, tørre pumpekombinationer, proceskammer
Antallet af ætsningskamre
Enkelt hulrum
Klemmer
TYPENAVN
Størrelse/mm
Materiale
N/A
8、6、4、3、2
End-point-detektor
Mulighed
Induktivt koblet plasma
Mulighed
Tekniske parametre:
Graveringsmateriale
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Ætningshastighed
>20 nm/min (SiO2-materiale) Hastighederne for forskellige materialer er ikke ens
Distribueret kontrol
>85°
Laddemåde
Åbent last
Gasledning styret af MFC
Der er seks gastanke tilgængelige
Køling bagfra med helium
Ja
Menneske-maskine-grænseflade
Skærm med touchscreen
Funktionsmode
Fuldt automatisk tilstand, ikke fuldt automatisk tilstand
Valg og konfiguration af automatiserede enheder
Du kan vælge mellem importerede eller indenlandske dele
Anvendelsessager
Pakning & Levering
Virksomhedsprofil
Siden 2014 er Minder-Hightech salgs- og servicesparringspartner i udstyr til halvleder- og elektronikproduktindustrien. Vi er dedikeret til at levere højkvalitets, pålidelige og alt-i-en-løsninger til maskineri. Indtil i dag har vores brands produkter spredt sig til de vigtigste industrialiserede lande verden over og har hjulpet kunder med at forbedre effektiviteten, reducere omkostninger og forbedre produktkvaliteten.
Ofte stillede spørgsmål
1. Om Pris:
Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbar. Prisen varierer alt efter konfigurationen og graden af tilpasning af din enhed.

2. Om Sample:
Vi kan tilbyde eksempelproduktionstjenester, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekræftet, skal du først betale en afgift, og fabrikken vil begynde at forberede varerne. Når udstyret er klar, og du har betalt restbeløbet, sender vi det ud.

4. Om Levering:
Når produktionen af udstyret er færdig, sender vi dig acceptancetest-videoen, og du kan også komme til lokationen for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:
Når udstyr ankommer på din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og afstille udstyret. Vi vil give dig et separat tilbud for denne servicegebyr.

6. Om garanti:
Vores udstyr har en 12-måneder garanti periode. Efter garanti perioden, hvis nogen dele er skadede og skal erstattes, vil vi kun opkræve kostprisen.

7. Eftersalgsservice:
Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.

Flere produkter

Forespørgsel

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes

Privatlivspolitik

Forespørgsel Email Whatsapp TOP
×

Tilgå os