DMD maskeløs litografi-maskine , China DMD maskeløs litografi-maskine Manufacturers, Suppliers, Factory

DMD maskeløs litografi-maskine

Model: MDZY-DMD-MLL200

DMD-teknologi (Digital Micromirror Device) til direkte skrivning eliminerer behovet for masker og giver ekstremt præcise linjebredder på 0,5 μm.

Velegnet til universitetsbaserede halvlederlaboratorier, mindre forsknings- og udviklingsprojekter inden for waferfabrikation, avanceret emballage, PCB-fremstilling, mikrofluidik og biochips samt MEMS. DMD-maskeløs litografi-maskine med digital mikrospejl-enhed.

Produktbeskrivelse

MDZY-DMD-MLL200
DMD maskeløs litografi-maskine

MDZY-DMD-MLL200 er en maskeløs litografi-maskine baseret på DMD-teknologi (Digital Micromirror Device). Ved at erstatte traditionelle maske med en DMD muliggør den hurtig og fleksibel design af litografimønstre og understøtter 2D- og 8-bit gråtone-litografi. Den kan opfylde enhver mikrometer-skala litografi-krav og anvendes bredt inden for områder såsom MEMS og mikrofluidik.

Funktioner

1. Kompakt skrivebordsdesign
2. Højtydende, højt ensartet LED-belysningskilde
3. Grønlysvejledt eksponering
4. Automatisk billedfokus ved hjælp af en CCD-kamera
5. Højpræcisions linearmotorstage
6. Brugervenligt softwareinterface

Parametre

UV-lyskildens centrale bølgelængde	405nm
Eksponeringsuniformitet	Over 90%
Minimum funktion linjebredde	0,5 µm
Enkeltgennemløbs skrivningsfelt eksponeringsareal	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Skrivehastighed	80 mm²/min (1 µm strøgvidde)
Understøttede billedformater	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Konfiguration

Konfiguration	Basismodellen	Professionel version
Lydkilde	Højtydende LED: 405 nm
DMD-chip	DLP6500
Enkeltfelt belyst areal	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
Kamera	Mikroskopkamera til stort område (understøtter størrelsesmåling)
Minimum ækvidistant linjebredde	0,8 µm	0.5μm
Sammensætningsnøjagtighed	±0,3 µm	±0,3 µm
Overlejring nøjagtighed	±0,5 µm	±0,5 μm
Skrivehastighed	20 mm²/min (1 µm strukturlinjebredde)	80 mm²/min (1 µm strukturlinjebredde)
Bevægelsesstage	Højpræcisions linearmotor (gentagelig positionering nøjagtighed ±0,25 µm), nivelleringsmekanisme, manuel roterende trin	Højpræcisions linearmotor (gentagelig positionering nøjagtighed ±0,25 µm), nivelleringsmekanisme, elektrisk roterende trin
Objektivlinseskifter	Manuel objektivlinseskift	Motoriseret objektivlinseskift
Fokuseringsmodul	CCD-billede autofokus	Laser aktiv fokussering
Understøttede wafersizes	4 tommer	4 tommer/8 tommer
Prøvestykkelse	0-10 mm	0-10 mm

Anvendelsessager

Mikrofluidisk chip

DMD UV-litografi til overlay-funktionalitet

Telleurnanogitterætsning efterfulgt af elektrodeoverlay

Gråtoneslitografi af Fresnel-linser, 3D-gråtoneslitografi for Fresnel-linser, viser kontinuerlige trinforskel i tværsnitsbilledet fra scanningselektronmikroskopet.

To-dimensionale materialeelektroder, to-dimensionale materialeelektroder efter fordampning og lift-off, fordampede elektroder er Ti/Au/Ti (12 nm i alt)

Kombineret DMD UV- og elektronstrålelitografi

Software

Brugere kan udføre alle litografioperationer fra hovedgrænsefladen uden nogen pop-up-vinduer.

Beskæringsmodul:

Inkluderer funktioner såsom brugerdefineret beskæring, automatisk udfyldning, farveinversion og anti-aliasing.

Objektbinding:

Brugere kan angive objektbindingsplaceringer et vilkårligt sted på prøveoverfladen og samtidig forhåndsvise sammenhængen mellem ethvert delbillede i helbilledet og prøveoverfladen, hvilket gør nøjagtig overlejring mulig.

In-situ-tegningsfunktion:

Grafik kan tegnes direkte på det mikroskopiske billede og projiceres på prøven for at opnå in-situ fotolitografi.

Udstyr Egte optagelser

Pakning & Levering

Virksomhedsprofil

Siden 2014 er Minder-Hightech salgs- og servicesparringspartner i udstyr til halvleder- og elektronikproduktindustrien. Vi er dedikeret til at levere højkvalitets, pålidelige og alt-i-en-løsninger til maskineri. Indtil i dag har vores brands produkter spredt sig til de vigtigste industrialiserede lande verden over og har hjulpet kunder med at forbedre effektiviteten, reducere omkostninger og forbedre produktkvaliteten.

Ofte stillede spørgsmål

1. Om prisen:
Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbare. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og kompleksiteten af din enheds tilpasning.

2. Om prøver:
Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekræftet, skal du først betale os en depositum, og fabrikken vil derefter begynde at forberede varerne. Når udstyret er færdigt og du har betalt restbeløbet, vil vi sende det til dig.

4. Om Levering:
Når fremstillingen af udstyret er afsluttet, sender vi dig en acceptvideo, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:
Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og fejlfinde udstyret. Vi vil fremsende en separat prisangivelse for denne service.

6. Om garanti:
Vores udstyr har en garanti på 12 måneder. Efter garantiperioden beregner vi kun omkostningerne ved eventuelle beskadigede dele, der skal udskiftes.

7. Eftersalgsservice:
Alle maskiner har en garanti på over et år. Vores tekniske ingeniører er altid online og står klar til at hjælpe dig med installation, opsætning og vedligeholdelses service. Vi kan yde installations- og opsætningservice på stedet for særlige og store udstyr.

Forside

Om os

MH Udstyr

Case-video

Løsning

Brugere Udenfor Landet

Kontakt os

DMD maskeløs litografi-maskine