


Velikost waferu |
4”~ 8” vora |
Hrubost voru |
100~750 mikron |
Typ voru |
Si, SiC, GaN nebo jiné materiály |
Typ fólie |
Modrá folie, UV folie Šířka: 230 ~ 300 mm Délka: 100 m Tloušťka: 0,05 ~ 0,2 mm |
Nosný prstenec pro vodivky |
6”, 8” DISCO |
Způsob nahrávání a odebírání |
Ruční umístění a odebrání vodivku/prstence |
Přesnost pozicování folie |
±0,5 mm Standardní desky pro křemíkové destičky o průměru 6” a 8” |
Vakuová pumpa |
Minder-Hightech |
Antistatická kontrola |
Deionizační větrák |
Ovládací jednotka |
Na základě PLC řízení, s dotykovým obrazovkou 10” |
Ochrana bezpečnosti |
Vybaveno ochrannou světelnou bariérou a tlačítkem nouzového zastavení |
Napětí zdroje elektrické energie |
Jednofázové AC 220V, 16A |
Stlačený vzduch |
0,45~0,6MPa, průtok 70L/min |
Krabice stroje |
Bílá plastově nanesená kovová krabice |
Objem |
850mm (šířka)*1750mm (hloubka)*1970mm (výška) |
Hmotnost bez obalu |
480kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena