Taiko – stroj na řezání kroužků z waferů , China Taiko – stroj na řezání kroužků z waferů Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

Plně automatický stroj pro řezání kroužků z waferů typu Taiko

Jedná se o stroj pro řezání kroužků z waferů typu Taiko.
Tento model automatizuje celý pracovní postup zpracování waferů – včetně upevnění, zarovnání, řezání, čištění, uvolnění UV pásky a odstranění kroužku – čímž výrazně snižuje náklady na práci a zvyšuje výrobní efektivitu.

Pracovní postup

Řezací sekce: Odstraňuje nadměrně tlustý vnější okraj waferu po procesu broušení zadní strany. Tato sekce zachovává základní funkčnost původního dělícího stroje DS9260, avšak doplněnou funkcemi řezání kroužků a mechanické kalibrace.
Sekce odlepování: Převede wafer – po dokončení řezání a čištění – do jednotky ozáření UV světlem.
Sekce odstranění kroužku: Po ozáření UV světlem získá kroužek a převezme ho na určené místo pro uskladnění kroužků.

Princip zařízení – odstranění kroužku

Části:
1. Výrobek s řezem kroužku
2. Kolečko pro zvedání kroužku
3. Keramický upínač na stanici pro odstranění kroužku
4. Stanice pro odstraňování kroužků – upínač vnějšího kroužku
5. Středový upínač
6. Těsnicí vakuový kroužek
7. Vakuová pomoc pro vnější kroužek

Princip:

Výrobek je umístěn nad keramickým upínačem na stanici pro odstraňování kroužků. K zajištění souososti výrobku se středovým upínačem se používá mechanismus pro polohování a zarovnání. Po vytvoření vakuového přísavu provede upínač vnějšího kroužku svislý zdvih, čímž vznikne mezi výrobkem a UV fólií oddělovací mezera; během tohoto procesu je vakuový podtlak ve vnějším kroužku neustále udržován prostřednictvím příslušných vakuových komponent. Následně se kola pro zvedání kroužků spustí a vloží se – od vnější strany směrem dovnitř – do rozhraní mezi výrobkem a UV fólií. Tato tři kola pro zvedání kroužků poté koordinovaně rotují kolem středové osy po oblouku o velikosti 120° až 130°, čímž odtrhnou vnější kroužek výrobku od vnějšího obvodu fólie. Nakonec kola zvednou výrobek směrem vzhůru a dokončí tak proces odstraňování kroužku.

Specifikace

Prostředí	Konstantní teplota 20–25 °C; vlhkost < 60 % (bez kondenzace)
Napájení	třífázové, střídavé napětí 220 V / 380 V, 10 kW
Stlačený vzduch	Tlak: 0,5–0,6 MPa; maximální spotřeba: 700 l/min
Chladičová voda	Tlak: 0,2–0,3 MPa; maximální spotřeba: 3,0 l/min
Objem odváděného vzduchu	8,0 m³/min (ANR)
Rozměry (Š × H × T)	1600 mm × 2325 mm × 1800 mm
Hmotnost	3000 kg (bez transformátoru)

Konfigurace a výkon	Rozměry zpracování	φ300, Φ200
		Typy produktů	1,2mm
		Maximální tloušťka obrobku	≤ 800 µm
		Rovinnost pracovního stolu	0,010 mm/Φ310 mm

Osa x	Efektivní cestování	310mm
Osa x		Rozlišení	0,001 mm
osa θ	Rozsah rotačního úhlu	380°
osa θ		Rozlišení rotačního úhlu	0.0005°
Osa y	Efektivní cestování	310mm
		Přesnost jednopáskového umístění	≤ 0,002/5 mm
		Rozlišení	0.0001mm
Osa z	Efektivní cestování	40 mm
		Maximální velikost čepele	φ58 mm
		Rozlišení pohybu	0,0001 mm
		Opakovatelnost	0,001 mm

Přesnost a výkon zařízení

Rovinnost upínače pro práci	0,010 mm / Φ300 mm 0,008 mm / □250 mm
Kolmost osy X a Y	0,006 mm / 300 mm
Přesnost kroku osy Y	0,002 mm / 5 mm (jediný krok)
Rovnoběžnost přírubu vřetene s osou X	0,001 mm / 30 mm
Opakovatelnost osy Z	0,001 mm / 50 cyklů
Rovnoběžnost upínače pro obrábění s dolní pákou	0,05 mm / 300 mm
Posun středu osy X mezi fází přednastavení a upínacím sklíčidlem pro řezání	≤ 0,5 mm
Souosost kalibračního bloku spodního ramene a upínacího sklíčidla pro řezání	≤ 0,5 mm
Rovnoběžnost upínacího sklíčidla pro kroužky a horního ramene	≤0,05 mm
Souosost horního ramene a kalibračního bloku horního ramene	≤0,1 mm
Rovnoběžnost povrchu UV ochranného krytu a horního ramene	≤0,1 mm
Rovnoběžnost upínacího ramene pro kroužky a pracovního sklíčidla	≤0,1 mm
Souosost upínacího ramene pro kroužky a pracovního stolu	≤0,3 mm

Balení a dodání

Společenský profil

Od roku 2014 je společnost Minder-Hightech prodejním a servisním zástupcem v oboru zařízení pro polovodičový a elektronický průmysl. Zavazujeme se poskytovat zákazníkům vysoce kvalitní, spolehlivá a komplexní řešení pro strojní zařízení. Dodnes se naše značkové produkty rozšířily do hlavních průmyslově rozvinutých zemí po celém světě a pomáhají zákazníkům zvyšovat efektivitu, snižovat náklady a zlepšovat kvalitu výrobků.

Často kladené otázky

1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:
Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvodní platební splátku a továrna začne připravovat zboží. Po připraveném zařízení a po zaplacení zbytku ho odesíláme.

4. O dodávce:
Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:
Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:
Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

7. Záruční a pozáruční servis:
Všechny stroje mají záruční dobu více než jeden rok. Naši techničtí inženýři jsou vždy online a mohou vám poskytnout služby týkající se instalace, uvedení do provozu a údržby zařízení. Pro speciální a velké zařízení můžeme poskytnout služby instalace a uvedení do provozu přímo na místě.

Domovská stránka

Informace o nás

Výrobní Zařízení

Řešení

Uživatelé Z Vládních Států

Video

Kontaktujte nás

Taiko – stroj na řezání kroužků z waferů