Úvod:
Zařízení pro nárazové nanášení povlaků magnetronovým naprašováním je speciální laboratorní přístroj pro nanášení povlaků, který vyvinula naše společnost. Zařízení lze vybavit stejnosměrným (DC) i střídavým (RF) zdrojem napájení. Výkon se pohybuje v rozmezí 500 W až 1000 W. Oproti běžnému plazmovému naprašování má magnetronové naprašování výhody vyšší energie, vyšší rychlosti, vyšší rychlosti usazování a nižšího zvýšení teploty vzorku. Magnetronový terč je vybaven vodou chlazenou mezivrstvou. Chladič vody účinně odvádí teplo a zabrání hromadění tepla na povrchu terče, čímž umožní stabilní dlouhodobý provoz magnetronového nanášení povlaků. Díky kompaktnímu návrhu byla dosažena rovnováhy mezi objemem a výkonem, zařízení má estetický vzhled a komplexní funkčnost. Celé zařízení je řízeno dotykovou obrazovkou a vestavěným jednotlačítkovým programem pro nanášení povlaků, což zajišťuje snadnou obsluhu a činí jej ideálním zařízením pro přípravu tenkých vrstev v laboratoři.
Použití:
Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých ferroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.