Úvod:
Přístroj pro náprsní magnetronové naprašování s dvojnásobným cílem je laboratorní specifický přístroj pro nanášení vrstev se dvěma pozicemi cílů, vyvinutý naší společností. Přístroj je vybaven stejnosměrným zdrojem napájení a rádiovofrekvenčním zdrojem napájení. Oproti běžnému plazmovému naprašování má magnetronové naprašování výhody vyšší energie a vyšší rychlosti, vyšší rychlosti nanášení vrstev a patří mezi typické rychlé nízkoteplotní naprašovací metody. Magnetronový cíl je vybaven vodou chlazenou mezivrstvou. Vodní chladič efektivně odvádí teplo a zabrání hromadění tepla na povrchu cíle, čímž umožňuje dlouhodobě stabilní provoz magnetronového nanášení vrstev. Vzorkový stůl tohoto modelu je proveden jako zdvihací (reciprokující) konstrukce s magnetickým spojkovým tlačným tyčí na levé straně, která umožňuje posun vzorkového stolu vlevo a vpravo. Celý přístroj je řízen dotykovou obrazovkou s vestavěným jednoduchým programem pro nanášení vrstev pomocí jediného tlačítka; ovládání je jednoduché a snadné a přístroj je tak ideálním zařízením pro laboratorní přípravu tenkých vrstev.
Použití:
Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých ferroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.