EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Úvod: Přístroj pro nárazové nanášení povlaků s dvojnásobným cílem je laboratorní specifický přístroj pro nanášení povlaků se dvěma pozicemi cílů, vyvinutý naší společností. Přístroj je vybaven stejnosměrným zdrojem napájení a rádiovým frekvenčním zdrojem napájení. Oproti běžnému plazmovému nárazovému nanášení má magnetronové nárazové nanášení výhody vyšší energie a vyšší rychlosti, vyšší rychlosti nanášení povlaku a patří mezi typické vysokorychlostní nízkoteplotní metody nárazového nanášení. Magnetronový cíl je vybaven vodou chlazenou mezivrstvou. Vodní chladič efektivně odvádí teplo a zabrání hromadění tepla na povrchu cíle, čímž umožňuje dlouhodobou stabilní činnost magnetronového nanášení povlaků. Vzorkový stůl tohoto modelu je konstruován jako reciprokující (pohybující se tam a zpět), na levé straně je umístěn magneticky spojený tlačný tyč, který posouvá vzorkový stůl doleva a doprava. Celý přístroj je řízen dotykovou obrazovkou, která obsahuje vestavěný jednoklikový program pro nanášení povlaků; ovládání je jednoduché a snadné, což činí tento přístroj ideálním zařízením pro laboratorní přípravu tenkých vrstev.
Aplikace: Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých feroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.
