EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Planetární jednocilový magnetronový nástroj pro povlakování
Úvod: Toto zařízení je stolní planetární jednocestné magnetronové nástrojové zařízení pro nanášení vrstev. Spodní část komory je z nerezové oceli, horní část je z vysokoryzového křemene. Konstrukce zohledňuje jak výkon ve vakuu, tak funkci umístění složitých vzorkových stolů. Vzhled zařízení je stolního typu, což výrazně snižuje nároky na prostor pro jeho instalaci. Zařízení je vybaveno stejnosměrným zdrojem napájení a lze jej použít pro naprašování kovů a dalších vodivých materiálů. Vývěvný systém zařízení využívá turbomolekulární vývěvu, která poskytuje rychlou rychlost vývěvy, vysoký mezivakuum a vynikající výkon ve vakuu. Toto zařízení má kompaktní konstrukci, kompletní funkce a je snadné v použití. Je velmi vhodné pro různé testy nanášení vrstev.
