MDHS-AL8 8" Úplně automatický jednostranný litografický stroj , China MDHS-AL8 8" Úplně automatický jednostranný litografický stroj Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

MDHS-AL8 8" Úplně automatický jednostranný litografický stroj

1. Režim práce: Nabíjecí robot automaticky načítá vodíky z A-B (recyklovatelného) boxu s vodíky na přednastavenou

pracovní stůl a prostřednictvím nastavení kamery na pozici vodivé desky a systému automatické rotace je dosaženo předběžného zarovnání vodivé desky; Následně robot na nahrávání umístí předzarovnané vodivé desky na pracovní plochu pro zarovnání. Pomocí počítačového rozpoznávání obrazu a úpravy systému automatického zarovnání lze dosáhnout automatického zarovnání obrázků na maskách a vodivých deskách. Je také možné provést jednu expozici bez zarovnání obrázků. Poté, co systém přeexpose automaticky provede expozici, odstraňovací robot automaticky umístí vodivé desky do krabice na C-D (recyklovatelné) vodivé desky.
2. Oblast expozice: 160 × 160mm;
3. Nerovnoměrnost expozice osvětlení: ≤ 3%;
4. Intenzita expozice: 0~≥ 40mw/cm2 přizpůsobitelná (úhel paprsku 2 °);
5. Úhel UV paprsku: ≤ 3 °;
6. Střední vlnová délka ultrafialového světla: 365nm;
7. Životnost zdroje ultrafialového světla: ≥ 20000 hodin;
8. Kapacita oddělování: 0~≥ 1000um přizpůsobitelná;
9. Přesnost zarovnání: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Přesnost vystavení: Kontaktní vystavení ± 1 μm. Blízké vystavení s oddělením 20 μm, úhel paprsku 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Metody vystavení: tvrdý kontakt, měkký kontakt a blízké vystavení;
12. Režim vystavení: Můžete si vybrat mezi jednorázovým vystavením nebo posuvným vystavením
13. Systém předního pozicování a automatické rotace (včetně pracovní desky pro přední pozicování): úhel rotace Q ≥ ± 180 °, přesnost rotace Q ≤ 0.01 °;
14. Systém rozpoznávání obrazu a automatického zarovnání (včetně pracovní desky UVW pro zarovnání): rozsah zarovnání X Y ≥ ± 5mm, úhel rotace Q ≥ ± 3 ° a dvě čočky mikroskopu jsou řízeny dvěma elektrickými platformami XYZ.
15. Velikost masky: 5 "× 5" a 7" × 7 ";
16. Velikost waferu: 4 "a 6";
17. Horní a dolní filmové boxy pracoviště: dvojité pracoviště;
18. Vzduchová polštáře pod nohami
19. Dvojité paže robotického ramene pro nahrávání a vybírání: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Počet vodivů v krabici s vodivy: určeno na základě počtu vodivů v krabici s vodivy zákazníka;
21. Zdvihování pozicovacího stolu: Z ≥ ± 25mm;
22. Čas expozice: přizpůsobitelný od 0 do 999,9 sekund;
23. Výrobní tempo: >120 kusů za hodinu;
24. Napájecí zdroj: jednofázové AC220V 50Hz, spotřeba energie ≤ 3KW;
25. Tlak čistého vzduchu: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuovost: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Rozměry: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Hmotnost: asi 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Tento stroj se skládá z exponenční hlavy s LED ultrafialovým světlem, systému pro rozpoznávání obrazu a automatickou rotaci, přednastavené pracovní desky a systému pro rozpoznávání podob obrázků a automatické zarovnání, zarovnávacích pracovních desek, nákladních robotů, vykladacích robotů, poliček a elektrického ovládání, které se skládá z zařízení, zásobníkových doplňků atd.

Specifikace

1. Expoziční hlava: Jedna LED ultrafialová expoziční hlava (365nm);
2. Pracovní stůl pro rozpoznávání obrazu a přednastavení:
1) 1 kamera (1,3 milionu pixelů)
2) Fixatura pro centrální pozicování
3) 1 sada rotující plošiny (používá se servomotor)
4) 1 sada pozicovacího systému
3. Systém pro rozpoznávání obrazu a automatické zarovnání:
1) 2 kamery (5 milionů pixelů vysoká frekvence)
2) 2 čočky (4x vysokorozlišnostní čočka)
3) Jeden průmyslový počítač
4) Jeden řadič (řízený PLC)
5) Jedna sada zarovnávací plošiny (pomocí 5-fázového krokového motoru)
6) Jedna sada pohybového systému
7) Zvedací a snižovací zařízení horní desky používá motor
7) Software používá nejnovější verzi LabVIEW Professional Edition
4. Nahrávací a vybírací mechanický rameno:
1) X Y. Jedna sada Z automatického pohybového mechanismu
2) Dvouramenné robotické rameno (nahrávací a vybírací rameno)
5. Mechanismus pevného zakotvení waferové krabice:
1) AB je pevné pozicování krabice na vstupní film
2) CD je pevné umístění krabice s řezací fólií
3) G je pevné umístění krabice s fólií pro NG pozici
6. Pevná plošina kamery:
7. Dvě sady mechanismů elektrického nastavení Y.Z (řízené servomotory)
8. Drážka a elektřinová ovládací konzole:
1) 1 průmyslový počítač
2) Jedna sada PLC;
3) Jedna sada elektromagnetických ventilů a ovládacího systému
4) Jedna sada digitálních pneumatických přístrojů
5) Jedna sada ovládací konzole
8. Náhradní příslušenství:
1) Tracheální: 15 metrů
2) 2 solénové ventilky
3) Vakuová čerpadla: 1 kus
9. Technická data:
1) Jeden uživatelský manuál
2) Jeden certifikát shody
10. Další
Softwarové vybavení zařízení musí být vybaveno protokolem komunikace SECS, a nákupce poskytuje dynamickou knihovnu s funkcí připojení k systému MES nákupce, automaticky zaznamenávající číslo dávky produktu, číslo úkolu a stav operace a nahrávající je. Zároveň má funkci rozpoznávání QR kódu masky, porovnávání jej se QR kódem masky v systému MES a prevence použití špatné masky.

Balení a dodání