Jednotka hostitele vakuumového plazmového systému (150) |
||||
Rozměry zařízení |
D 1100׊ 940×V 1755mm |
|||
hmotnost |
600kg |
|||
Požadované zdroje energie |
AC380V, 50/60Hz, 5 žil, 25A (celkově otevřený typ nad C) |
|||
Specifikace generátoru plazmatu |
||||
napájení |
rádiová frekvence |
střední frekvence |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
frekvence napájení |
13.56mhz |
40 K Hz |
||
Vakuový systém |
||||
vakuová pumpa |
Pumpy Leap monopole VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|||
vakuumní potrubí |
Celá linka z nerez oceli, stejně jako vakuumní vlnivky s vysokou pevností |
|||
kvalita materiálu |
alufer |
|||
tloušťka |
25mm |
|||
těsnost |
Vojenská úroveň spájení uzavřením |
|||
Vnitřní rozměry dutiny |
500*500*600mm (Šířka * výška * hloubka) |
|||
Efektivní velikost elektrické desky |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Mezery dostupného prostoru |
24 mm |
|||
Uspořádání elektroplacování |
Vodorovná elektrodní deska |
|||
podnice |
Standardní sada, materiál volitelný (hliník, ocelová síť) |
|||
pracovní prostor |
8 vrstev |
|||
Procesní plyn |
||||
Rozsah toku |
0~300SCCM |
|||
Trasa procesního plynu |
Standardně s dvěma způsoby, lze přizpůsobit. Potrubí pro procesní plyn je vyrobeno z ferroflonu |
|||
Řídicí systém |
||||
SC |
Ovládání PC |
|||
interaktivní mód |
Rozhraní Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved