





|
Stačnostní jednotka vakuumové plazmy (150) |
||
|
Rozměry zařízení |
D 1100׊ 940×V 1755mm |
|
|
váha |
600kg |
|
|
Požadované zdroje energie |
AC380V, 50/60Hz, 5 žil, 25A (celkově otevřený typ nad C) |
|
|
Specifikace generátoru plazmatu |
||
|
napájení |
rádiová frekvence |
střední frekvence |
|
0~1000W |
0-2000W |
|
|
frekvence napájení |
13.56mhz |
40 K Hz |
|
Vakuový systém |
||
|
vakuová pumpa |
Pumpy Leap monopole VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
|
vakuumní potrubí |
Celá linka z nerez oceli, stejně jako vakuumní vlnivky s vysokou pevností |
|
|
kvalita materiálu |
alufer |
|
|
tloušťka |
25mm |
|
|
těsnost |
Vojenská úroveň spájení uzavřením |
|
|
Vnitřní rozměry dutiny |
500*500*600mm (Šířka * výška * hloubka) |
|
|
Efektivní velikost elektrické desky |
372(W) X 451(D)mm |
|
|
Mezery dostupného prostoru |
24 mm |
|
|
Uspořádání elektroplacování |
Vodorovná elektrodní deska |
|
|
podnice |
Standardní sada, materiál volitelný (hliník, ocelová síť) |
|
|
pracovní prostor |
8 vrstev |
|
|
Procesní plyn |
||
|
Rozsah toku |
0~300SCCM |
|
|
Trasa procesního plynu |
Standardně s dvěma způsoby, lze přizpůsobit. Potrubí pro procesní plyn je vyrobeno z ferroflonu |
|
|
Řídicí systém |
||
|
SC |
Ovládání PC |
|
|
interaktivní mód |
Rozhraní Windows |
|







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena