struktura |
uveďte příklad |
Pult pro expozici |
Expoziční oblast: pult, oblast umístění substrátu |
Optický systém |
Oblast vydávání laserového tvaru |
Systém řízení prostředí |
Řídí vnitřní teplotu a pozitivní tlak zařízení |
Systém plošiny |
Ovládá pohyb expoziční desky pro dokončení operace expozice |
Řídicí systém |
Řídící systém celého zařízení |
Žádný. |
Prostředí |
Vyžadovat |
1 |
Světelné prostředí |
Žluté světlo |
2 |
Teplota |
22℃±2℃ |
3 |
Vlhkost |
50%±10% |
4 |
Čistotu |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, suchý, čistý vzduch |
6 |
Napájení |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Zemní vodič musí být zakotven, |
7 |
Chladičová voda |
Teplota: 10℃~ 20℃ Tlak: 0.3MPa ~ 0.5MPa Tok: 20L/min Rozdíl tlaku: více než 0.3MPa Připojovací průměr: Rc3/8 |
8 |
Místo konání |
úroveň: ±3mm/3000mm otřes: VC-B Ložisko: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Jedno síťové připojení |
11 |
Velikost stroje |
1300*1100*2100mm |
12 |
Hmotnost zařízení |
1500kg |
Žádný. |
Projekt |
- Přesná specifikace. |
Poznámka |
1 |
Rozlišení |
0.6um/nebo jiná požadavky |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Tloušťka podložky |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Přesnost mřížky dat |
60nm |
|
5 |
Překryv |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Přesnost šití |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maximální vystavení |
190X190mm |
|
8 |
Provozní výkon |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
světelný zdroj |
LD 375nm |
|
10 |
výkon světla |
6W |
|
11 |
Energetická rovnoměrnost |
≥95% |
|
12 |
životnost světla |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
