Vyzdvižení
Úvod: Toto zařízení je dvoucílový magnetronový nástroj pro nanášení vrstev. Je vybaveno dvěma magnetronovými cíli a dvěma sadami stejnosměrných zdrojů napájení. Lze jej použít k nanášení vícevrstvých vodivých kovových vrstev. Současně se zařízení skládá ze dvou částí: hlavní komory a přechodové komory. Přechodová komora je vybavena magnetickým tlačným tyčí a mezi oběma komorami je instalována vakuumová uzavírací klapka. Uživatel může vzorky nahrát do přechodové komory a provést předčerpání, zatímco v hlavní komoře probíhá naprašování. Po dokončení naprašování v hlavní komoře lze vzorek magnetickou tlačnou tyčí posunout na držák vzorku v hlavní komoře. Tento návrh snižuje počet cyklů vývěvy a následného vypouštění hlavní komory, což nejen účinně šetří čas, ale také zajišťuje lepší místní vakuum a efektivně zvyšuje kvalitu nanášené vrstvy.
Aplikace: Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých feroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.