Úvod:
Toto zařízení je dvoucílový magnetronový nástroj pro nanášení vrstev. Je vybaveno dvěma magnetronovými cíli a dvěma sadami stejnosměrných zdrojů napájení. Lze jej použít k nanášení vícevrstvých vodivých kovových vrstev. Současně se zařízení skládá ze dvou částí: hlavní komory a přechodové komory. Přechodová komora je vybavena magnetickým tlačným tyčí a mezi oběma komorami je instalována vakuumová uzavírací klapka. Uživatel může vzorky nahrát do přechodové komory a provést předčerpání, zatímco v hlavní komoře probíhá naprašování. Po dokončení naprašování v hlavní komoře lze vzorek magnetickou tlačnou tyčí posunout na vzorkovací stolici hlavní komory. Toto řešení snižuje počet cyklů vývěvy a následného vypouštění hlavní komory, čímž nejen efektivně ušetří čas, ale také zajistí lepší místní vakuum a účinně zlepší kvalitu nanášené vrstvy.
Použití:
Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých ferroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.