Vyzdvižení
Úvod:
Dvojcílový magnetronový naprašovací přístroj je laboratorní specifický naprašovací přístroj vyvinutý naší společností. Zařízení lze vybavit stejnosměrným zdrojem napětí i střídavým zdrojem napětí s výkonem v rozmezí 500 W až 1000 W. Oproti běžnému plazmovému naprašování má magnetronové naprašování výhody vyšší energie a vyšší rychlosti, vyšší rychlosti nanášení vrstvy a nižšího nárůstu teploty vzorku. Jedná se o typické rychlé a nízkoteplotní naprašování. Magnetronový terč je vybaven vodou chlazenou mezivrstvou. Vodní chladič efektivně odvádí teplo a zabrání hromadění tepla na povrchu terče, čímž umožňuje dlouhodobou stabilní činnost magnetronového naprašování. Zařízení bylo kompaktně navrženo tak, aby dosáhlo rovnováhy mezi objemem a výkonem, s estetickým vzhledem a komplexní funkcionalitou. Celé zařízení je řízeno dotykovou obrazovkou s vestavěným jednotlačítkovým programem pro nanášení vrstvy, což zajišťuje jednoduché a snadné ovládání. Je to ideální zařízení pro přípravu tenkých vrstev v laboratoři.
Aplikace: Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých feroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.