Úvod:
Toto zařízení se skládá převážně z vakuové komory ze nerezové oceli, magnetronové stříkací cíle, zařízení pro výparné nanášení povlaků, vzorkového stolu pro umístění vzorků, jednotky vakuového čerpadla, vakuometru, systému přívodu vzduchu a řídicího systému. Hlavní jednotka zařízení je ovládána dotykovou obrazovkou a monitorována teplotním regulátorem. Jeho digitální rozhraní pro parametry a automatický provoz poskytují uživatelům vynikající výzkumný a vývojový pracoviště. Vakuová komora využívá konstrukci s cílí umístěnou ve spodní části a vzorkový stůl disponuje funkcemi ohřevu a rotace, čímž lze dosáhnout rovnoměrnějšího povlakového efektu. Systém vytváření vakua tohoto zařízení využívá dvoustupňovou skupinu vakuových čerpadel. Předčerpávací čerpadlo je vysokorychlostní mechanické čerpadlo, které účinně zkracuje dobu od atmosférického tlaku do stavu nízkého vakua. Hlavní čerpadlo je turbomolekulární čerpadlo s vysokou čerpací rychlostí a rychlejším vytvářením vakua. Celý systém vytváření vakua je čistý a rychlý.
Použití:
Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých ferroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.