EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Úvod: Toto zařízení se skládá převážně z vakuové komory ze nerezové oceli, magnetronového naprašovacího terče, zařízení pro výparné povlakování, vzorkového stolu pro umístění vzorků, vakuové čerpací jednotky, vakuometru pro měření tlaku, systému přívodu vzduchu a řídicího systému. Hlavní jednotka zařízení je ovládána dotykovou obrazovkou a sledována teplotním regulátorem. Jeho digitální rozhraní pro parametry a automatický provoz poskytují uživatelům vynikající výzkumnou a vývojovou platformu. Vakuová komora využívá konstrukci s terčem umístěným ve spodní části a vzorkový stůl disponuje funkcemi ohřevu i rotace, čímž lze dosáhnout rovnoměrnějšího povlakového efektu. Systém vytváření vakua tohoto zařízení využívá dvoustupňovou skupinu vakuových čerpadel. Předčerpávací čerpadlo je vysokorychlostní mechanické čerpadlo, které účinně zkracuje dobu potřebnou k dosažení nízkého vakua z atmosférického tlaku. Hlavní čerpadlo je turbomolekulární čerpadlo s vysokou čerpací rychlostí a rychlejším vytvářením vakua. Celý systém vytváření vakua je čistý a rychlý.
Aplikace: Lze jej použít k přípravě jednovrstvých nebo vícevrstvých tenkých feroelektrických vrstev, vodivých vrstev, slitinových vrstev, polovodičových vrstev, keramických vrstev, dielektrických vrstev, optických vrstev atd.
