Úvod:
Toto zařízení je dvoucílový magnetronový nástroj pro nanášení vrstev. Tato konfigurace využívá vysoce vakuovou komoru z nerezové oceli, konstrukci s předním otevíráním a kvartcové pozorovací okno na dveřích, aby se usnadnilo pozorování a záznam experimentu. Současně je zařízení vybaveno rotující ohřívanou vzorkovou plošinou, která účinně zlepšuje rovnoměrnost a kvalitu nanášené vrstvy. Na horním krytu je instalována sada clon a dvě cíle lze přepínat otáčením clon, čímž lze dosáhnout nanášení vícevrstvých povlaků. Toto zařízení vyžaduje použití skupiny molekulárních čerpadel pro vysoké vakuum. Uživatelé si mohou vybrat malá importní molekulární čerpadla, čímž se dále ušetří místo pro instalaci. Současně lze tento model vybavit volitelnou součástí měřiče tloušťky vrstvy, která umožňuje sledovat data o tloušťce vrstvy v reálném čase a poskytuje spolehlivé parametry pro průběh experimentu.
Použití:
Lze jej použít k přípravě tenkých kovových vrstev, v elektronických oblastech, optických oblastech, speciálních keramikách atd. Lze jej použít také pro přípravu vzorků pro laboratorní skenovací elektronový mikroskop (SEM).