Precizní CMP systém

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Precizní CMP systém

Přehled zařízení:

Přesný CMP systém se používá především k broušení a ztenčování hlavních polovodičových čipů, jako jsou křemík, oxid křemičitý a čipy fokální roviny z antimonidu india, a k chemicko-mechanickému leštění spodní, horní a koncové plochy.

Celý stroj i všechny jeho součásti jsou plně odolné proti korozi a procesní parametry lze nastavit prostřednictvím dotykového displeje s interaktivním rozhraním.

Zpracovatelná velikost vzorku:

Velikost vzorku ≤ 152 mm / 6 palců

Hloubka obráběcího zařízení je 50μm ~ 10 mm

Dostupné ukazatele procesu:

1.Celková odchylka tloušťky (TTV) obalu φ75 mm je v rozmezí 2 μm;

2.celková odchylka tloušťky (TTV) obalu φ100 mm je v rozmezí 3 μm;

3.Celková odchylka tloušťky (TTV) obalu φ150 mm je v rozmezí 4 μm.

Typy vzorků, které lze zpracovat:

Křemík, karbid křemíku, diamant, keramika, nitrid gallia, křemen, antimonid gallia, fosfid india, arsenid gallia, tellurid kadmia a zinku, tellurid rtuti a kadmia, nioban lithný a jiné polovodičové materiály.

Vlastnosti výbavy:

1. Realizace funkce detekce koncového bodu pro řízení tloušťky vzorku.

2. Online reálný časový systém řízení teploty a chlazení brusného a leštícího kotouče.

3. Vícekanálový systém přívodu pracovní kapaliny.

4. Automatická funkce promývání brusného a leštícího kotouče.

5. Automatická funkce opravy kotouče.

6. Upínač je vybaven digitálním měřicím stolem pro kontrolu tloušťky s přesností měření 0,1 μm.

Technické parametry:

Konfigurace zařízení:

Často kladené otázky

1. O ceně:

Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:

Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:

Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvodní platební splátku a továrna začne připravovat zboží. Po připraveném zařízení a po zaplacení zbytku ho odesíláme.

4. O dodávce:

Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:

Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:

Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

7. Záruční a pozáruční servis:

Všechny stroje mají záruční dobu více než jeden rok. Naši techničtí inženýři jsou vždy online a mohou vám poskytnout služby týkající se instalace, uvedení do provozu a údržby zařízení. Pro speciální a velké zařízení můžeme poskytnout služby instalace a uvedení do provozu přímo na místě.