MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

MDZY-DMD-MLL200
DMD bezmasková litografická mašina

MDZY-DMD-MLL200 je bezmasková litografická mašina založená na technologii DMD (Digital Micromirror Device). Nahrazuje tradiční masky zařízením DMD, což umožňuje rychlé a flexibilní navrhování litografických vzorů, podporuje 2D a 8bitovou šedotónovou litografii. Splňuje požadavky na litografii v mikronovém rozsahu a je široce využívána v různých oblastech, jako jsou MEMS a mikrofluidika.

Vlastnosti

1. Kompaktní stolní konstrukce
2. Výkonný, vysoce uniformní expoziční zdroj světla LED
3. Expozice s vedeným zeleným světlem
4. Automatické zaostřování obrazu pomocí CCD kamery
5. Vysoce přesný lineární motorový stůl
6. Uživatelsky přívětivé softwarové rozhraní

Parametry

Středová vlnová délka zdroje UV světla	405nm
Rovnoměrnost expozice	Více než 90 %
Minimální šířka čáry prvku	0,5 µm
Plocha expozice pole pro jednoprůchodový zápis	0,16 × 0,16 mm (@0,5 µm)
Rychlost psaní	80 mm²/min (šířka čáry 1 μm)
Podporované formáty obrázků	DXF, GDS, bmp, png atd.

Konfigurace

Konfigurace	Základní verze	Profesionální verze
Světelný zdroj	Výkonná LED: 405 nm
DMD čip	DLP6500
Plocha expozice jednoho pole	0,16×0,16 mm (při 0,5 μm), 0,4×0,4 mm (při 0,7 μm), 0,8×0,8 mm (při 1 μm), 1,6×1,6 mm (při 2 μm)
KAMERA	Kamera mikroskopu pro velkou plochu (podporuje měření rozměrů)
Minimální šířka ekvidistantní čáry	0.8 µm	0.5μm
Přesnost šití	±0,3 µm	±0,3 μm
Přesnost překrytí	±0,5 µm	±0,5 μm
Rychlost psaní	20 mm²/min (šířka čáry prvku 1 µm)	80 mm²/min (šířka čáry prvku 1 μm)
Pohybový stůl	Vysokopřesný lineární motor (opakovatelná přesnost polohování ±0,25 µm), vyrovnávací mechanismus, manuální otočný stůl	Vysokopřesný lineární motor (opakovatelná přesnost polohování ±0,25 µm), mechanism vyrovnání, elektrický otočný stůl
Držák objektivu	Ruční přepínání objektivu	Motorizované přepínání objektivu
Modul zaostření	Automatické zaostření pomocí CCD snímku	Aktivní laserové zaostření
Podporované velikosti waferů	4 centimetry	4 palce/8 palců
Tloušťka vzorku	0-10 mm	0–10 mm

Případy použití

Mikrofluidní čip

DMD UV litografie pro funkci překrytí

Etching tellurových nanomřížek následovaný nanášením elektrod

Stupňovitá litografie Fresnelových čoček, 3D stupňovitá litografie Fresnelových čoček s ukázkou spojitých změn výšky ve snímcích z elektronového mikroskopu

Elektrody ze dvourozměrných materiálů, elektrody ze dvourozměrných materiálů po odpaření a odleptání, odpařené elektrody jsou Ti/Au/Ti (celkem 12 nm)

Kombinovaná DMD UV a elektronová litografie

Software

Uživatelé mohou provést všechny litografické operace z hlavního rozhraní bez jakýchkoli vyskakovacích oken.

Modul ořezávání obrázku:

Zahrnuje funkce jako vlastní ořezávání, automatické vyplňování, inverzi barev a odstranění schodů.

Vazba objektu:

Uživatelé mohou nastavit vazbu objektu na libovolném místě povrchu vzorku a současně prohlížet korespondenci mezi jakýmkoli dílčím obrazem ve snímku celého pole a povrchem vzorku, což umožňuje přesné překrytí.

Funkce kreslení přímo do obrazu:

Grafiku lze kreslit přímo do mikroskopického obrazu a promítat na vzorek, čímž se dosáhne in-situ fotolitografie.

Vybavení Skutečné natáčení

Balení a dodání

Společenský profil

Od roku 2014 je Minder-Hightech prodejním a servisním zástupcem v oboru polovodičového a elektronického průmyslového zařízení. Zavazujeme se poskytovat zákazníkům vyšší kvalitu, spolehlivost a komplexní řešení pro strojní zařízení. Naše značkové produkty se dnes rozšířily do většiny průmyslově vyspělých zemí po celém světě, čímž pomáháme zákazníkům zvyšovat efektivitu, snižovat náklady a zlepšovat kvalitu výrobků.

Často kladené otázky

1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:
Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvodní platební splátku a továrna začne připravovat zboží. Po připraveném zařízení a po zaplacení zbytku ho odesíláme.

4. O dodávce:
Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:
Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:
Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

7. Záruční a pozáruční servis:
Všechny stroje mají záruční dobu více než jeden rok. Naši techničtí inženýři jsou vždy online a mohou vám poskytnout služby týkající se instalace, uvedení do provozu a údržby zařízení. Pro speciální a velké zařízení můžeme poskytnout služby instalace a uvedení do provozu přímo na místě.

Domovská stránka

Informace o nás

Výrobní Zařízení

Řešení

Uživatelé Z Vládních Států

Video

Kontaktujte nás

MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine