MDLB-MC200 čistič fotomasky

Žádný.

Projekt

Specifikace

Výše uvedené

1

Přehled zařízení

Název zařízení: Čistič fotomasek

Model zařízení: MDLB-MC200

Celkové rozměry (přibližně): 1300mm (Š) * 1000mm (H) * 1950mm (V)

Hmotnost celého zařízení (přibližně): 300KG

Výška pracovní desky: 900 ± 50mm

Specifikace rozměrů substrátu: vhodné pro čtvercové masky velikosti 2/4/5/6/8 palců

Technologický postup: ruční umístění wafere → čištění (štětec, čisticí prostředek → vysokotlaká voda → megasonická voda → deionizovaná voda → sušení dusíkovým plynem) → ruční odebrání waferu

Typ zařízení: poloautomatické, ruční nahrávání a vylučování

2

Konstrukce zařízení

Obal: nerdzavějící ocel, hladký, odolný proti korozi, snadno čistitelný

Čistící komora: PP, hladká, odolná proti korozi, snadno čistitelná

Potrubí: používá se potrubí z materiálu PU/PFA

Osazení pracovního prostoru: protikorozní žluté světelné osvětlení

Způsob otvírání dveří: dvojitá dvířka s funkcí upozornění při otevření

Dotyková obrazovka: 10palcová barevná dotyková obrazovka * 1

FFU: Třída 100

Podpora proti úniku: dostupná

3

Vysokorychlostní servomotor

Množství: 1

Rychlost: -3000~3000 ot/min

Prázdný běh

Maximální zrychlení rotace vývrtky: 3000ot/s

Prázdný běh

Přesnost rychlosti: ± 1ot/min (50ot/min~3000ot/min)

Rozlišení rychlosti: 1ot/min

4

Automatické rameno

Množství: 3

Rychlost ramena: 1~30 °/s

5

Čisticí jednotka

Čisticí rameno: 1 kanál deionizované vody, 1 kanál dusíku

Megasonický rameno: 1 megasonik, 1 vysokotlaká voda

Štětecové rameno: 1 štětec, 1 voda, 1 čisticí roztok

Metoda čištění: automatické čištění

Funkce vysávání destilované vody: dostupná

Oprchlívání (destilovaná voda): 1 trasa

Způsob dodávky: Čisticí roztok: Membránový pumpa

Destilovaná voda: dodává se přímo od závodu

Tlaková nádrž s detekcí úrovně kapaliny

6

Čistící štětec

Množství: 1 (s funkcí samočištění)

Rychlost: až 1000 ot/min, přizpůsobitelná rychlost

Výška ručně přizpůsobitelná

7

Nádobí pro náklad

Množství: 5

Materiál: PPS+kovina (nerdzidlo)

Velikost: vhodné pro čtvercové maskovací desky o velikosti 2/4/5/6/8 palců

Metoda pevného zakotvení substrátu: Metoda drápku na pevné zakotvení

8

Řídicí systém

Řídící systém: používá se PLC řízení

Program: 100 skupin, každá skupina tvořená 100 kroky, s maximálním časem jednoho kroku 3000.0 sekund

Resoluce: 0.1S

Program lze uložit, volat, upravit a smazat

Nastavení šifrovacích oprávnění: pro operátory zařízení, techniky, správce a výrobce respektive

Typ signální věže: červená, žlutá, zelená 3 barvy