Vlastnosti zařízení
1. Toto zařízení je navrženo pro laserové řezání polovodičových waferů vyšší třídy.
2. Vybaveno laserem dovezeným ze Spojených států, který zajišťuje vynikající stabilitu během laserového řezání.
3. Obsahuje odolnou proti rušení vysokopřesnou lineární motorovou XY stolici s mřížkovým měřítkem, která účinně potlačuje rušení způsobené strojem na zpracovávané výrobky.
4. Je vybaveno CCD kamerou s rozlišením 12 megapixelů pro přesné nastavení polohy.
5. Využívá achromatickou zobrazovací technologii a možnosti rozpoznávání obrazu pro určení polohy.
6. Má rozhraní GPIB a další externí rozhraní pro připojení externích přístrojů za účelem měření nebo úpravy odporu.
7. Mramorový podstavec zajišťuje vynikající stabilitu stroje.
Technické parametry
Model |
MDSG-LT74 |
Vlnová délka laseru |
1064/355 nm |
Výkon laseru |
6W/4W |
Typická velikost světelné skvrny |
25-35μm |
Metoda zaostření |
Automatické, řízené počítačovým programem. |
Metoda chlazení |
Vzdušné chlazení |
Rozsah pohybu laserového paprsku |
27 mm × 27 mm |
Rozlišení pohybu |
0.76μm |
Přesnost opakovaného polohování |
±2,5 µm |
Režim pohybu |
Lineární motor s mřížkovým pravítkem odolným proti rušení |
Rozsah pohybu) |
300 mm × 300 mm |
Přesnost opakovaného polohování |
±1 µm |
Metoda měření odporu |
měření čtyřvodičovou metodou |
Přesnost měření odporu |
±0,02 % (střední odpor) |
Rozsah měření odporu |
0.1ω–50 MΩ |
Rychlost měření |
4 µs/měření |
Korekce chyby v nulovém a plném rozsahu |
Automatická korekce |
Definice sondy |
Programovatelné libovolné nastavení |
Rozhraní |
GPIB |
Rozměry zařízení |
1430 x 913 x 1747 mm |
Hmotnost |
617 kg |
Provozní podmínky (voda, elektřina, plyn) |
Vlhkost: < 70 %; Napájení: střídavé napětí 220 V, 2,5 kW; Stlačený vzduch: < 0,6 MPa, < 40 l/min |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena