Model: MDST-6100
Suchý plazmový asher s indukčně vázaným plazmatem (ICP) je vhodný pro aplikace, jako je odstraňování reziduí (předzpracování a odstraňování zbytků), odstraňování polymerů (PI, BCB, PBO) a odstraňování fotorezistu po implantaci iontů; komora umožňuje zpracování vzorků o průměru 200 mm (s kompatibilitou pro vzorky o průměru 100 mm a 150 mm).
Suchý plazmový odstraňovač fotorezistu ICP
Suchý plazmový asher s indukčně vázaným plazmatem (ICP) je vhodný pro aplikace, jako je odstraňování reziduí (předzpracování a odstraňování zbytků), odstraňování polymerů (PI, BCB, PBO) a odstraňování fotorezistu po implantaci iontů; komora umožňuje zpracování vzorků o průměru 200 mm (s kompatibilitou pro vzorky o průměru 100 mm a 150 mm).
Vzhled zařízení podléhá průběžným modernizacím a úpravám; rozhodující je skutečně dodaný výrobek.
Výhoda:
Vysoký stupeň ionizace a rozkladu plazmatu
Po plazmové úpravě je opakovatelnost vysoká
Suché leptání, žádný zdroj znečištění
Řízení tlaku a teploty pomocí motýlových uzávěrů
Schopnost udržovat plazma za vysokého tlaku
Oddělení zdroje vysokého napětí a generátoru iontů
Mikrovlnné rozhraní a magnetický obvod jsou kompatibilní
Schopnost splnit požadavky zákazníků
Nízká teplota během zpracování
Rychlá rychlost odezvy a krátká doba odezvy
Model |
MDST6100 |
Plazmový zdroj |
rádiová frekvence |
výkon |
1000W |
Oblast použití |
8 palců (kompatibilní s 4 nebo 6 palci) |
Velikost boxu |
25 kusů |
Celkové rozměry |
L1696 × Š2170 × V2146 mm |
Systémové řízení |
PLC |
Systém materiálového boxu |
Automatický |
Skutečné fotografie zařízení:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
